[实用新型]一种应用于曝光机移载机构上的真空吸板盒装置

权利要求书

1.一种应用于曝光机移载机构上的真空吸板盒装置，其特征在于：包括有水平移载输送支撑架（1），水平移载输送支撑架（1）上端装设有第一吸盘（2）及第二吸盘（3），第一吸盘（2）设置有吸板盒（21），吸板盒（21）侧面连接有安装座（22），安装座（22）上端装设有伸缩马达（23），伸缩马达（23）连接有滑轨（24）内的齿条（25），吸板盒（21）侧面装设有吸盘伸缩导杆（26），且通过输送皮带（27）与安装座（22）连接，安装座（22）穿设在吸盘伸缩导杆（26）上，伸缩马达（23）通过安装座（22）连接吸板盒（21），安装座（22）通过设置于水平移载机构输送支撑架（1）侧端的水平移载输送带（11）与输送马达（12）连接；

吸板盒（21）包括有吸盘面板（211）、真空逻辑板（212）、气密条（213）及底板（214），吸盘面板（211）下方为真空逻辑板（212），真空逻辑板（212）上设置有多条槽（215）及通孔（216），且多条槽（215）及通孔（216）相连通，真空逻辑板（212）下方连接气密条（213），且表面设置有多个气浮珠（217），且与真空逻辑板（212）的上吸气孔（218）相对应，气密条（213）下方装设有底板（214）。

2.根据权利要求1所述的一种应用于曝光机移载机构上的真空吸板盒装置，其特征在于：所述第一吸盘（2）水平装设于所述水平移载输送支撑架（1）下端，所述第二吸盘（3）水平装设于所述水平移载输送支撑架（1）上端。

3.根据权利要求1所述的一种应用于曝光机移载机构上的真空吸板盒装置，其特征在于：所述第二吸盘（3）与所述第一吸盘（2）的结构相同。

4.根据权利要求1所述的一种应用于曝光机移载机构上的真空吸板盒装置，其特征在于：所述吸盘面板（211）、真空逻辑板（212）、气密条（213）及底板（214）采用螺丝固定连接形成所述吸板盒（21）。