[实用新型]一种圆度仪气浮减振装置

说明书

一种圆度仪气浮减振装置，包括减振本体腔、活塞和隔振板，减振本体腔分为下层空气储藏室和上层阻尼室，空气储藏室和阻尼室间开有阻尼孔，并通过阻尼孔连通，阻尼室上表面设有凹槽，凹槽处以橡胶隔膜密封，阻尼室内凹槽的槽底设有弹性套件，弹性套件的一端抵在凹槽的槽底，另一端抵在阻尼孔的孔壁上，活塞置于凹槽内，活塞顶部与隔振板连接，隔振板的顶部设置调平水平阀。本实用新型以空气储藏室和阻尼室衰减振源，阻尼孔抑制振源产生共振，隔振板和橡胶隔膜进一步对振动阻隔减弱，使得基地产生的振动无法传输至检测设备上，有效阻隔振源，防振效果好。

技术领域

本实用新型涉及减振器领域，尤其涉及一种应用于圆度仪的气浮减振装置。

背景技术

圆度仪在使用过程中出现测量数据波动大，无法满足高精度产品检测，圆度仪标定精度0.03微米；但在检测13微米圆柱的圆柱度时波动会大于0.5-2.5微米，造成此圆度仪的MSA数据波动，无法提供准确数据，给加工生产及检测带来很大困扰。通过不断排查发现在现场设备稼动少时，测量数据趋于稳定，因此需要增加减振装置减小外部振动对设备造成的影响，从而提升设备量测的稳定性。气浮减震器是一种安装在设备的底部用于减振的装置，目前市场上的气浮减振器主要存在气密性不佳、设备安装后无法调整水平以及设备中橡胶部分容易老化，产品容易锈蚀，使用寿命短等问题。

发明内容

本实用新型为解决上述问题，提供了一种气密性好，能够安装后调平的应用于圆度仪的气浮减振装置。

本实用新型所采取的技术方案：

一种圆度仪气浮减振装置，包括减振本体腔、活塞和隔振板，减振本体腔分为下层空气储藏室和上层阻尼室，空气储藏室和阻尼室间开有阻尼孔，并通过阻尼孔连通，阻尼室上表面设有凹槽，凹槽处以橡胶隔膜密封，阻尼室内凹槽的槽底设有弹性套件，弹性套件的一端抵在凹槽的槽底，另一端抵在阻尼孔的孔壁上，活塞置于凹槽内，活塞顶部与隔振板连接，隔振板的顶部设置调平水平阀。

所述的空气储藏室下部设置进气管，进气管上设有空气阀，进气管连接至持续性气源。

所述的橡胶隔膜为合成橡胶材质的橡胶隔膜。

本实用新型的有益效果：本实用新型以空气储藏室和阻尼室衰减振源，阻尼孔抑制振源产生共振，隔振板和橡胶隔膜进一步对振动阻隔减弱，使得基地产生的振动无法传输至检测设备上，有效阻隔振源，防振效果好，同时橡胶隔膜采用合成橡胶材质，延长其使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

其中：1-调平水平阀；2-隔振板；3-活塞；4-橡胶隔膜；5-弹性套件；6-阻尼室；7-空气储藏室；8-进气管；9-空气阀；10-阻尼孔；11-凹槽。

具体实施方式

一种圆度仪气浮减振装置，包括减振本体腔、活塞3和隔振板2，减振本体腔分为下层空气储藏室7和上层阻尼室6，空气储藏室7和阻尼室6间开有阻尼孔10，并通过阻尼孔10连通，阻尼室6上表面设有凹槽11，凹槽11处以橡胶隔膜4密封，阻尼室6内凹槽11的槽底设有弹性套件5，弹性套件5的一端抵在凹槽11的槽底，另一端抵在阻尼孔10的孔壁上，活塞3置于凹槽11内，活塞3顶部与隔振板2连接，隔振板2的顶部设置调平水平阀1。

所述的空气储藏室7下部设置进气管8，进气管8上设有空气阀9，进气管 8连接至持续性气源。

所述的橡胶隔膜4为合成橡胶材质的橡胶隔膜。