[实用新型]一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置

权利要求书

1.一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置，包括储液瓶(1)，其特征在于：所述储液瓶(1)左端的上方开设有进液口(2)，所述进液口(2)的上方设置有木橡塞(3)，所述储液瓶(1)上表面的中心位置处设置有电机(4)，所述电机(4)的下方设置有转动轴(5)，所述转动轴(5)的前后左右四个方位上均设置有搅拌扇叶(6)，所述储液瓶(1)的右侧壁上设置有控制盒(8)，所述控制盒(8)的内部设置有控制器(10)，所述控制器(10)的右端设置有显示屏(9)，所述显示屏(9)的下方设置有控制开关(11)，所述储液瓶(1)的下方开设有出液口(12)，所述出液口(12)的现房设置有第一电磁阀(13)，且出液口(12)通过卡箍与第一电磁阀(13)固定连接，所述第一电磁阀(13)的下方设置有定量瓶(14)，所述定量瓶(14)左端的上方设置有电容液位器(15)，且定量瓶(14)侧壁的前方设置有液位刻度板(23)，所述定量瓶(14)的下方设置有第二电磁阀(16)，所述第一电磁阀(13)、第二电磁阀(16)、电机(4)、电容液位器(15)、控制器(10)和显示屏(9)均与控制开关(11)电性连接，所述控制开关(11)通过电源插座与外界电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置，其特征在于：所述搅拌扇叶(6)为弧形结构，且搅拌扇叶(6)的侧壁上开设有圆孔(7)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置，其特征在于：所述储液瓶(1)底部的后方设置有定量管(24)，所述定量管(24)的下方设置有球阀(25)，所述球阀(25)的下方设置有定量漏斗(26)，所述定量漏斗(26)的下方设置有转动块(27)，所述转动块(27)的侧壁上开设有流通槽(29)，且转动块(27)的右端设置有转动杆(28)，所述定量漏斗(26)的下方与定量瓶(14)连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置，其特征在于：所述储液瓶(1)的左端设置有孔块(20)，所述孔块(20)的内部开设有通孔(22)，所述通孔(22)的内部设置有钩块(21)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片腐蚀清洗机定量补液装置，其特征在于：所述定量瓶(14)的左端设置有橡胶凸块(17)，所述橡胶凸块(17)的左端设置有槽块(18)，所述槽块(18)与橡胶凸块(17)相对应位置处开设有凹槽(19)，所述橡胶凸块(17)与凹槽(19)嵌合连接。