[实用新型]用于金刚线清洗的清洗机花篮有效
申请号: | 201820437455.3 | 申请日: | 2018-03-29 |
公开(公告)号: | CN208157370U | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 郭伟;周炎;王海庆;黄振华 | 申请(专利权)人: | 江苏美科硅能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/673 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 212200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底座 圆柱形管 侧边框 上边框 本实用新型 垂直设置 边框架 固定条 金刚线 清洗机 框体 清洗 花篮 边框 固定连接条 底座圆柱 底座纵向 硅片表面 硅片清洗 面积增加 四边结构 悬挂杆 支撑条 根侧 形管 脏污 平行 | ||
本实用新型涉及一种用于金刚线清洗的清洗机花篮,包括框体,框体由底座和固定在底座上的边框架组成,底座由4根底座圆柱形管条围成四边结构;并且在底座纵向设有支撑条,边框架包括侧边框和上边框,侧边框分别由4根垂直设置在底座上四个角的侧边框圆柱形管条组成,在侧边框的前端和后端的两侧的侧边框圆柱形管条之间固定条,并且固定条分别与底座对应端的底座圆柱形管条之间设有第一固定连接条;上边框由4根分别垂直设置在相邻两根侧边框圆柱形管条之间的上边框圆柱形管条组成,且与底座平行,上边框上横向设有若干个悬挂杆;本实用新型结构简单,能够使得硅片清洗面积增加,降低硅片表面的脏污。
技术领域
本实用新型涉及硅片超声清洗领域,具体涉及一种用于金刚线清洗的清洗机花篮。
背景技术
硅片切割后,需要进行清洗,现有的用于硅片清洗的超声因花篮,其底部设有网托,阻碍并且使得硅片表面的波受到削弱,清洗能力受到降低,不利于硅片表面的脏污的降低,对后序产品的质量产生影响。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题,本实用新型提出一种用于金刚线清洗的清洗机花篮,能够提高清洗面积。
本实用新型解决以上技术问题的技术方案:提供用于金刚线清洗的清洗机花篮,包括框体,所述框体由底座和固定在所述底座上的边框架组成,所述底座由 4根底座圆柱形管条围成四边结构;并且在所述底座纵向设有支撑条,所述边框架包括侧边框和上边框,所述侧边框分别由4根垂直设置在所述底座上四个角的侧边框圆柱形管条组成,在侧边框的前端和后端的两侧的侧边框圆柱形管条之间固定条,并且所述固定条分别与底座对应端的底座圆柱形管条之间设有第一固定连接条;
所述上边框由4根分别垂直设置在相邻两根所述侧边框圆柱形管条之间的上边框圆柱形管条组成,且与所述底座平行,所述上边框上横向设有若干个悬挂杆。
本实用新型进一步限定的技术方案为:
前述的所述底座纵向至少设有两个支撑条,并且等距设置。
前述的侧边框圆柱形管条与其相邻的第一固定连接条之间设有连接板,并且在所述连接板上设有把手。
前述的底座左右两端的底座圆柱形管条与上框体对应端的上边框圆柱形管条之间设有第二固定连接条。
前述的底座和上边框之间设置有隔板,并且隔板上设有通孔。
前述的框体采用高强度铝合金材质制成。
本实用新型的有益效果:本实用新型结构简单,整体采用高强度铝合金材质制成,其质量轻,强度大,能够延长使用寿命,在底座纵向至少设有两个支撑条,并且等距设置,能够增加硅片清洗的面积,改善底部现有网托对超声的阻碍和削弱,提高硅片表面单位面积的受超声能力,设有第一固定连接条和第二固定连接条,能够增加整体承重能力,使得整体连接更加稳定,侧边框圆柱形管条与其相邻的第一固定连接条之间设有连接板,并且在所述连接板上设有把手,能够便于工作人员的搬运;在上边框上横向设有若干个悬挂杆,能够减轻底座的承重压力,底座和上边框之间设置有隔板,将个硅片进行隔开,便于清洗,并且隔板上设有通孔,能够使得硅片清洗面积增加,降低硅片表面的脏污。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型隔板的结构示意图。
具体实施方式
实施例1
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造