[实用新型]一种CCGA器件植柱装置有效
申请号: | 201820443171.5 | 申请日: | 2018-03-29 |
公开(公告)号: | CN207947249U | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 刘俊永 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 植柱 上模板 陶瓷基板表面 本实用新型 定位凹腔 定位孔 下模板 器件表面 器件放置 植柱装置 焊锡膏 上端面 工艺技术领域 微电子封装 印刷 焊接金属 专用模板 印刷机 下端面 焊盘 围框 制备 密封 平整 容纳 贯穿 | ||
1.一种CCGA器件植柱装置,其特征在于,包括上模板和下模板,所述下模板上端面开设用于容纳待植柱器件和上模板的定位凹腔,所述上模板上端面至下端面贯穿开设多个定位孔,该多个定位孔与所述待植柱器件表面的待植柱焊盘一一对应,所述待植柱器件放置在所述上模板和所述下模板之间。
2.如权利要求1所述的CCGA器件植柱装置,其特征在于,在所述待植柱器件陶瓷基板表面不平整时,所述上模板还贯穿开设有用于容纳该不平整部分的空腔。
3.如权利要求1所述的CCGA器件植柱装置,其特征在于,所述定位凹腔的深度小于所述下模板的高度,所述定位凹腔包括用于容纳所述上模板的上定位凹腔和用于容纳所述待植柱器件的下定位凹腔,所述上定位凹腔位于所述下定位凹腔上方且上定位凹腔与下定位凹腔组成倒“凸”型。
4.如权利要求3所述的CCGA器件植柱装置,其特征在于,所述下模板下端面开设通孔,该通孔与所述下定位凹腔腔体相通且通孔的尺寸小于下定位凹腔腔体的尺寸。
5.如权利要求3所述的CCGA器件植柱装置,其特征在于,所述上定位凹腔和所述下定位凹腔的腔角均为圆形倒角。
6.如权利要求1所述的CCGA器件植柱装置,其特征在于,所述定位孔的直径大于放入定位孔中的焊锡球或焊锡柱的直径,定位孔的高度小于插入定位孔中的焊锡柱的高度。
7.如权利要求3所述的CCGA器件植柱装置,其特征在于,所述下定位凹腔的高度大于待植柱器件底面到待植柱焊盘表面的高度。
8.如权利要求6所述的CCGA器件植柱装置,其特征在于,所述焊锡柱上端放置压块。
9.如权利要求1-8任一项所述的CCGA器件植柱装置,其特征在于,所述上模板和所述下模板均采用热膨胀系数与陶瓷基板相差不超过6ppm/℃的石墨或KOVAR合金材料制备。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造