[实用新型]一种蚀刻设备

权利要求书

1.一种蚀刻设备，其特征在于，包括：

槽体，用于盛置可对生产板进行蚀刻处理的蚀刻液；

输送机构，用于供所要蚀刻的所述生产板放置并输送至指定位置处；所述输送机构包括输送支撑架、转动设于所述输送支撑架上端的若干个上输送滚轮、及转动设于所述输送支撑架下端的若干个下输送滚轮，所述输送支撑架设于所述槽体的上方；所述若干个上输送滚轮与所述若干个下输送滚轮之间形成可供所述生产板容置的输送空间；

喷淋机构，用于将置于所述槽体内的蚀刻液抽送到指定位置处，并将该蚀刻液喷淋在置于所述输送机构上的所述生产板；所述喷淋机构包括若干个上喷淋器、若干个下喷淋器及喷淋泵；所述若干个上喷淋器设于所述若干个上输送滚轮的上方，并位于所述槽体的上方，所述若干个下喷淋器设于所述若干个下输送滚轮的下方，并位于所述槽体的上方，且所述若干个上喷淋器与所述若干个下喷淋器呈相对或者交错设置；

负压除液机构，用以将被所述喷淋机构喷淋蚀刻过的所述生产板上的多余蚀刻液进行清除；所述负压除液机构包括若干个负压棒、若干个负压发生器、循环泵，所述若干个负压棒设于靠近所述输送空间的位置处；所述若干个负压发生器分别与所述若干个负压棒连接；所述循环泵分别与所述若干个负压发生器、所述槽体连接。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述若干个负压棒安装于所述输送支撑架上，并靠近所述输送空间。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述若干个负压棒安装于所述输送支撑架上，并位于相邻的两个所述上输送滚轮。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述负压棒设有至少四个，所述负压发生器设有至少四个。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述上喷淋器设有至少五个，该至少五个上喷淋器沿同一直线方向均匀间隔设于所述上输送滚轮的上方。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述下喷淋器设有至少五个，该至少五个下喷淋器沿同一直线方向均匀间隔设于所述下输送滚轮的下方。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述若干个上输送滚轮沿同一直线方向间隔设于所述输送支撑架上端。

8.根据权利要求1所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述若干个下输送滚轮沿同一直线方向间隔设于所述输送支撑架下端。

9.根据权利要求1-8任一项所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述输送机构还包括用以驱动所述若干个上输送滚轮和所述若干个下输送滚轮转动工作的驱动装置，所述驱动装置设于所述输送支撑架上，并分别与所述若干个上输送滚轮、所述若干个下输送滚轮连接。

10.根据权利要求9所述的一种蚀刻设备，其特征在于，所述驱动装置为驱动电机，所述驱动电机通过链条与所述若干个上输送滚轮、所述若干个下输送滚轮连接。