[实用新型]一种模块化的复合晶体制备系统

权利要求书

1.一种模块化的复合晶体制备系统，其特征是：包括炉架、炉腔、晶体生长温场模块、旋转提拉称重单元和升降机构，炉腔设置在炉架上，炉腔前侧设置有前门，炉腔侧面设有通光窗口，晶体生长温场模块设置于炉腔内，旋转提拉称重单元设置在炉腔的上部，旋转提拉称重单元的下部连接提拉杆，晶体生长温场模块为微下拉法模块、提拉法模块和激光基座加热法模块之一。

2.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统，其特征是：所述炉架带有减震功能的地脚。

3.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统，其特征是：所述炉腔为真空炉腔，炉腔上部和下部分别设有出气孔和进气孔。

4.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统，其特征是：所述炉腔上部设有视频图像监控系统。

5.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统，其特征是：所述微下拉法模块包括坩埚、坩埚支座、保温层和籽晶托杆，坩埚设置在坩埚支座上，坩埚外围设置有保温层，坩埚下方设置有籽晶托杆，坩埚的外部设置有电磁感应线圈。

6.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统，其特征是：所述提拉法模块包括坩埚、保温层和坩埚支座，坩埚设置在坩埚支座上，坩埚外围设置有保温层，坩埚外部设置有电磁感应线圈。

7.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统，其特征是：所述激光加热基座法模块包括籽晶夹持器、料棒夹持器和激光光源，籽晶夹持器和料棒夹持器分别与与提拉杆和升降机构连接，激光光源与炉腔侧面的通光窗口对应。

8.根据权利要求1所述的模块化的复合晶体制备系统，其特征是：所述升降机构设置于与炉架分离的独立底座上。