[实用新型]一种MEMS电容式加速度计接口电路有效
| 申请号： | 201820462537.3 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN208174658U | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 齐敏;孙泉;乔东海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | H03K19/0175 | 分类号： | H03K19/0175 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 产生电路 正参考电压 共模电压 输入电源电压 线性稳压器 低噪声 升压电荷泵 电容式加速度计 读出装置 接口电路 本实用新型 前置放大器 敏感单元 转化 | ||
1.一种MEMS电容式加速度计接口电路，包括敏感单元和读出装置；其特征在于，所述读出装置包括：开关、前置放大器和正参考电压以及共模电压产生电路；所述正参考电压以及共模电压产生电路包括升压电荷泵以及第一低噪声线性稳压器LDO1和第二低噪声线性稳压器LDO2；其中，所述第一低噪声线性稳压器LDO1和升压电荷泵构成正参考电压产生电路，所述第二低噪声线性稳压器LDO2和升压电荷泵构成共模电压产生电路；其中，
所述正参考电压产生电路，用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压，并将所述相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压转化为相当于低输入电源电压两倍的正参考电压；
所述共模电压产生电路，用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压，并将所述相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压转化为相当于低输入电源电压一半的共模电压。
2.根据权利要求1所述的接口电路，其特征在于，所述的正参考电压产生电路的输出和地分别作为MEMS敏感单元的正负参考电压，所述的共模电压产生电路的输出作为MEMS敏感单元和前置放大器的共模电压。
3.根据权利要求1所述的接口电路，其特征在于，所述前置放大器通过低输入电源供电，采用高性能的低压MOS管设计。
4.根据权利要求1所述的接口电路，其特征在于，所述接口电路应用于低功耗开环或者闭环加速度计接口电路。
5.根据权利要求1所述的接口电路，其特征在于，还包括MEMS敏感单元,所述MEMS敏感单元输出信号为电容的变化信号。
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