[实用新型]一种透反式宽度可调消光晕匀化光学系统

权利要求书

1.一种透反式宽度可调消光晕匀化光学系统，其特征在于，包括从物侧到像侧顺序布置且中心轴共面的消像差准直镜组、第一曲型柱面反射镜阵列、第二曲型柱面反射镜阵列、第一柱面透镜及第二柱面透镜；

其中，所述消像差准直镜组的中心轴垂直于所述第一曲型柱面反射镜阵列柱面的中心轴；

所述第一曲型柱面反射镜阵列、所述第二曲型柱面反射镜阵列均为90°光束偏转角，且反射镜面法线相互平行；

所述第一柱面透镜的中心轴、所述第二柱面透镜的中心轴与所述消像差准直镜组的中心轴平行。

2.根据权利要求1所述的一种透反式宽度可调消光晕匀化光学系统，其特征在于，所述消像差准直镜组为熔融石英材料的圆形镜片的组合，所述消像差准直镜组为消像差球面镜组。

3.根据权利要求1所述的一种透反式宽度可调消光晕匀化光学系统，其特征在于，所述第一曲型柱面反射镜阵列、第二曲型柱面反射镜阵列均为金属材料且具有水冷通道的圆柱状斜面反射镜，所述第一曲型柱面反射镜阵列与所述第二曲型柱面反射镜阵列的各个阵列单元均为宽度相同的柱状凹形曲面；

所述第一曲型柱面反射镜阵列的各个阵列单元沿所述第一曲型柱面反射镜阵列中心轴方向对齐放置，所述阵列单元分界线垂直于所述第一曲型柱面反射镜阵列对称面；

所述第二曲型柱面反射镜阵列的各个阵列单元沿所述第二曲型柱面反射镜阵列中心轴方向对齐放置，所述阵列单元分界线垂直于所述第二曲型柱面反射镜阵列对称面。

4.根据权利要求1所述的一种透反式宽度可调消光晕匀化光学系统，其特征在于，所述第一柱面透镜与所述第二柱面透镜均为熔融石英材料的矩形镜片，所述第一柱面透镜的聚焦线垂直于所述第一曲型柱面反射镜阵列对称面，第二柱面透镜的聚焦线平行于所述第一曲型柱面反射镜阵列对称面。

5.根据权利要求1所述的一种透反式宽度可调消光晕匀化光学系统，其特征在于，所述第一柱面透镜固定，第二柱面透镜可相对于所述第一柱面透镜移动。