[实用新型]治具开合机构有效
申请号: | 201820475061.7 | 申请日: | 2018-04-04 |
公开(公告)号: | CN208000904U | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | 欧阳泉 | 申请(专利权)人: | 深圳市泰品科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 安装板 治具 底板 开锁组件 开合机构 垫块 本实用新型 定位组件 卡扣组件 开合控制 自动固定 自动开合 开锁部 侧边 外置 平行 支撑 | ||
本实用新型公开一种治具开合机构,其特征在于:包括底板、第一安装板、第一开锁组件和第二开锁组件,其中底板的四个角设有安装板垫块,第一安装板通过安装板垫块支撑在底板上方与底板保持平行;所述第一开锁组件和第二开锁组件的开锁部外置在第一安装板上方,并能够分别对治具的所有侧边定位组件和卡扣组件进行开合控制,它能够实现治具内TFT基板自动固定,以及治具的自动开合控制。
技术领域
本实用新型涉及TFT基板的制造领域,尤其涉及一种控制TFT基板极化用的治具的开合用的机构。
背景技术
TFT基板制造过程中,涉及到通过超声波极化工序。在超声波极化工序,传统的工艺是手动将TFT基板放到对应的治具上,然后在连同治具放到相应的设备进行极化,现有的治具结构,无法实现TFT基板自动上料到治具以及和治具之间的装配。
目前,缺乏一种对上述治具进行自动开合控制的机构方案。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足,提供一种治具开合机构,它能够实现治具内TFT基板自动固定,以及治具的自动开合控制。
本实用新型提供一种治具开合机构,其特征在于:包括底板、第一安装板、第一开锁组件和第二开锁组件,其中底板的四个角设有安装板垫块,第一安装板通过安装板垫块支撑在底板上方与底板保持平行;所述第一开锁组件和第二开锁组件的开锁部外置在第一安装板上方,并能够分别对治具的所有侧边定位组件和卡扣组件进行开合控制。
优选地,所述第一开锁组件包括具有主动轮的第一步进电机、第一皮带、若干第一从动轮、第一转轴和凸轮随动器,所述第一步进电机固定安装在底板底部,所述第二步进电机的主动轮置于底板上方;各第一从动轮通过第一转轴活动地安装在第一安装板,所述第一从动轮位于第一安装板底部;所述第一皮带将第一步进电机上的主动轮依次与各第一从动轮、凸轮随动器对应连接;每个第一从动轮对应的第一转轴上端面偏心式地设有第一开锁柱。
优选地,所述第二开锁组件包括具有主动轮的第二步进电机、第二皮带、若干第二从动轮、第二转轴和凸轮随动器;第二步进电机固定安装在底板底部,所述第二步进电机的主动轮置于底板上方;所述各第二从动轮通过第二转轴活动地安装在底板上方;所述第二皮带将第二步进电机上的主动轮依次与各第二从动轮、凸轮随动器对应连接;每个第二从动轮对应的第二转轴上端面偏心式地设有第二开锁柱。
附图说明
图1为某优选实施例中治具的盖板结构示意图;
图2为某优选实施例中治具的整体结构示意图;
图3为图2中的侧边定位组件结构示意图;
图4为图2中的卡扣组件结构示意图;
图5为治具开合机构的结构示意图;
图6为图5中隐藏了第一安装板后的结构示意图;
图7为治具开合机构的前视图;
图8为某优选实施例中上下料装置的俯视图;
图9某优选实施例中上下料装置的立体结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
一种治具,用于TFT基板13的超声波极化。如图1和2所示,治具1包括治具铝板11和盖板12,治具铝板11上表面的中间位置设有TFT基板放置位,当TFT基板13放置在治具铝板11的TFT基板放置位后,所述盖板12盖合在治具铝板11上面, 最终TFT基板13被固定治具铝板11和盖板12之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造