[实用新型]实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸起装置有效
申请号: | 201820476704.X | 申请日: | 2018-04-04 |
公开(公告)号: | CN208055456U | 公开(公告)日: | 2018-11-06 |
发明(设计)人: | 张鹏 | 申请(专利权)人: | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊;林捷 |
地址: | 350003 福建省福州市鼓楼*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃垫片 光学镀膜 本实用新型 凸起装置 摆放 镀膜过程 端面光学 间隔放置 放入 良率 凸起 外周 破损 支撑 加工 | ||
本实用新型涉及一种实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸起装置,其特征在于:包括玻璃垫片和设在玻璃垫片上用于放入BAR条的凹槽;所述凹槽内间隔放置BAR条,在两两BAR条之间放置陪条,所述陪条较BAR条薄且支撑在玻璃垫片凹槽的外周平面。本实用新型结构简单,加工成本低,实用性高,可以简单方便可靠的实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸起,解决镀膜过程中BAR端面光学膜破损的问题,有利于提高产品的良率。
技术领域:
本实用新型涉及一种实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸起装置。
背景技术:
光通信用半导体激光器的制备,代表了先进微纳加工和器件集成工艺的发展方向,得到了国际上各个国家的高度重视。光通信用的半导体激光器是光纤通信的核心。目前光通信用半导体激光器主要应用INP衬底片进行外延生长及后端加工,在后端加工中BAR条端面光学镀膜工艺是保证激光器参数的关键工序。
BAR条光学镀膜就是在BAR条的两端镀上相应的光学介质膜层,在镀膜过程为保证镀膜质量,BAR条不能连续摆放,BAR条间要夹一根陪条,陪条宽度比BAR条略窄,使BAR条摆放时略微突出,现有的方法只能保证一边有凸出,另一边没有,这样没有凸出的那边镀膜时就出出现膜层黏连现象,在BAR条分离时就会出现膜层破损的情况,良率受到影响,如何保证BAR条摆放的时候BAR条两端都凸出陪条端面,此为研究的重点及难点。
发明内容:
本实用新型的目的在于提供一种实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸出于陪条端面装置,从而有利于实现BAR条两端凸出于陪条端面,解决镀膜过程中BAR端面光学膜破损的问题。
本实用新型实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸起装置,其特征在于:包括玻璃垫片和设在玻璃垫片上用于放入BAR条的凹槽;所述凹槽内间隔放置BAR条,在两两BAR条之间放置陪条,所述陪条较BAR条薄且支撑在玻璃垫片凹槽的外周平面。
进一步的,上述凹槽的槽深为10um~20um。
进一步的,上述玻璃垫片的材料为K9玻璃。
本实用新型实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸起装置使用方法,先在玻璃垫片1的凹槽2内放入BAR条3;然后在BAR条3外周边放置陪条4,所述陪条4较BAR条薄且支撑在玻璃垫片凹槽的外周平面5;接着固定陪条和BAR条;最后撤走玻璃垫片1,使BAR条上部和下端部露在陪条上、下方。
本实用新型的有益效果:
本实用新型结构简单,加工成本低,实用性高,可以简单方便可靠的实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸起,解决镀膜过程中BAR端面光学膜破损的问题,有利于提高产品的良率。
附图说明:
图1是本实用新型玻璃垫片的剖面图;
图2是本实用新型玻璃垫片承放BAR条和陪条的构造示意图;
图3是图2的俯视构造示意图。
具体实施方式:
下面结合实施例对本实用新型方法作进一步的详细说明。需要特别说明的是,本实用新型的保护范围应当包括但不限于本实施例所公开的技术内容。
本实用新型实现BAR条光学镀膜摆放时两端凸起装置包括玻璃垫片1和设在玻璃垫片上用于放入BAR条3的凹槽2;所述凹槽2内间隔放置BAR条3,在两两BAR条之间放置陪条4,所述陪条较BAR条薄且支撑在玻璃垫片凹槽的外周平面。
进一步的,为了设计合理,上述凹槽的槽深为10um~20um,上述玻璃垫片的材料为K9玻璃。
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