[实用新型]激光清洗系统、激光清洗头

说明书

本实用新型涉及激光清洗系统、激光清洗头。所述激光清洗系统包括第一反射镜、扫描转镜和第二反射镜；所述第一反射镜位于光源发射的激光束的前进光路上，用于将所述激光束反射预定角度至所述扫描转镜；所述扫描转镜位于经所述第一反射镜反射后的激光束光路上，所述扫描转镜能够绕轴线转动并将所述第一反射镜反射的激光束进一步反射至所述第二反射镜；所述第二反射镜位于经所述扫描转镜反射后的激光束光路上，用于将所述扫描转镜反射的激光束反射至待清洗工件的清洗面，所述第二反射镜为柱面反射镜。所述激光清洗头包括清洗头主体，第一反射镜、扫描转镜和第二反射镜安装在清洗头主体上。

技术领域

本实用新型涉及激光清洗领域，特别是涉及激光清洗系统、激光清洗头。

背景技术

激光清洗作为一种环保、高效、高精度、高质量的清洗技术，在航空航天、精密机械、半导体电子等领域应用前景广阔。

当前，激光清洗头一般采用扫描振镜，扫描速度一般低于10m/s，而且在清洗开始和结束区由于振镜偏转加减速存在过烧问题，清洗的质量均匀性难控。随着激光器功率的进一步提高，大幅面工件对清洗效率要求的进一步提升，传统的振镜扫描式技术在清洗效率和清洗质量上面临着技术瓶颈，难以满足高效率高质量的要求。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种激光清洗系统和适用于所述激光清洗系统的激光清洗头，所述激光清洗系统的清洗效率高、质量均匀。

一种激光清洗系统，所述激光清洗系统包括第一反射镜、扫描转镜和第二反射镜；

所述第一反射镜位于光源发射的激光束的前进光路上，用于将所述激光束反射预定角度至所述扫描转镜；所述扫描转镜位于经所述第一反射镜反射后的激光束光路上，所述扫描转镜能够绕轴线转动并将所述第一反射镜反射的激光束进一步反射至所述第二反射镜；所述第二反射镜位于经所述扫描转镜反射后的激光束光路上，用于将所述扫描转镜反射的激光束反射至待清洗工件的清洗面，所述第二反射镜为柱面反射镜。

首先，上述激光清洗系统中运用了扫描转镜，所述扫描转镜转动过程中，在单个反射面上通过改变激光束入射角度实现光束的扫描。旋转过程中，一个反射面可实现激光束的一次扫描，转镜转动一周可实现与反射面面数(N＝6、8、12、24…..)相同的扫描次数，转镜的旋转速度是100rpm～20000rpm，激光束的线扫描速度可以达到10m/s-200m/s，可实现高功率、高重复频率激光器的高效率清洗。另外，由于扫描转镜是匀速旋转的，因此激光束在整个扫描过程中线扫描速度始终保持不变，所以激光束的扫描速度是匀速的，不存在加减速的过程，不会导致过烧问题的发生，可保障激光清洗质量的均匀性和一致性。

其次，上述激光清洗系统中的第二反射镜为柱面反射镜，相对于平面反射镜，柱面反射镜可实现对激光束的约束作用，使反射激光束全部通过柱面反射镜的几何圆心，这样可保障反射光能够完全通过激光清洗头到达待清洗工件表面。

一种激光清洗头，包括清洗头主体、安装于所述清洗头主体的激光准直系统和如上述的激光清洗系统，所述第一反射镜、扫描转镜和第二反射镜安装在所述清洗头主体上。

上述激光清洗头包括清洗头主体和激光准直系统，激光清洗系统安装于清洗头主体上，结构简单。激光准直系统将光源发出的激光束整形为平行光，然后向第一反射镜发射所述激光束，所述第一反射镜将激光束反射至所述扫描转镜，所述扫描转镜将所述激光束反射至所述第二反射镜，由第二反射镜反射并从清洗头主体输出至待清洗工件的清洗面，对待清洗工件进行清洗，清洗效率高、质量均匀。

附图说明

图1为一实施例的激光清洗系统的光路示意图；

图2为一实施例的激光清洗系统的侧向光路示意图；

图3为转镜单元的结构示意图，其中，a为反射面与转动轴线平行的转镜单元，b为反射面与转动轴线倾斜预定角度的转镜单元；