[实用新型]一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器

权利要求书

1.一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：

包括一条输入波导(101)、一条输出波导(102)以及连接在输入波导(101)和输出波导(102)之间的一个部分透射式角反射镜组(2)，部分透射式角反射镜组(2)由第一反射镜(201)、中心透射区域(203)和第二反射镜(202)依次排列组成，第一反射镜(201)和第二反射镜(202)的反射面朝向输入波导(101)。

2.根据权利要求1所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述部分透射式角反射镜组(2)输入端与输入波导(101)相连，输出端与输出波导(102)相连，输入波导(101)宽度大于输出波导(102)宽度；所述的输入波导(101)宽度和输出波导(102)宽度的宽度比根据所述片上集成部分反射器所需的透射率和反射率取值；在宽度比固定时，第一反射镜(201)和第二反射镜(202)的反射角α根据所述片上集成部分反射器所需的透射率和反射率取值。

3.根据权利要求1所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述部分透射式角反射镜组(2)输入端经通过扩束器(3)与输入波导(101)连接，部分透射式角反射镜组(2)输出端经能量耦合器(4)与输出波导(102)连接，输入波导(101)和输出波导(102)取任意宽度。

4.根据权利要求3所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述能量耦合器(4)采用锥形波导，能实现透射光在中心透射区域(203)和输出波导(102)之间的耦合。

5.根据权利要求3所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述扩束器(3)采用锥形波导，输入端宽度与输入波导(101)的宽度相同，输出端宽度与部分透射式角反射镜组(2)的输入端宽度相同。

6.根据权利要求3所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述扩束器(3)由多模干涉耦合波导结构(301)和波导模斑转换器(302)构成，多模干涉耦合波导结构(301)的输入端经波导模斑转换器(302)与输入波导(101)连接，波导模斑转换器(302)采用锥形波导，多模干涉耦合波导结构(301)的输出端与部分透射式角反射镜组(2)输入端连接，多模干涉耦合波导结构(301)宽度与部分透射式角反射镜组(2) 的输入端宽度相同。

7.根据权利要求3-6任一所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述第一反射镜(201)和第二反射镜(202)的反射角α为45°。

8.根据权利要求1-6任一所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述第一反射镜(201)和第二反射镜(202)的反射面均通过深刻蚀形成。

9.根据权利要求1-6任一所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述片上集成部分反射器的所有器件均采用二氧化硅、绝缘体上硅(SOI)、聚合物或者Ⅲ-Ⅴ族半导体化合物的无源光波导材料制作。

10.根据权利要求1-6任一所述的一种基于部分透射式角反射镜组的片上集成部分反射器，其特征在于：所述片上集成部分反射器的所有器件均采用有源半导体化合物材料制作，并且上面覆盖电极。