[实用新型]玻璃硬化光学镀膜腔体

权利要求书

1.玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。

2.根据权利要求1所述的玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，所述腔体还包括包覆设置在腔体本体外表面上的冷却套，冷却套呈槽状，槽内壁的形状与腔体本体上部分的外形相适配，冷却套上设置通入冷却介质的入口和回收冷却介质的出口。

3.根据权利要求2所述的玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，冷却套包括紧贴腔体本体外表面上的金属材质的导热面；冷却介质为冷却水或冷却空气。

4.根据权利要求3所述的玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，所述腔体还包括设置在腔体底板下方的加热套，加热套呈壳体结构且其上表面紧贴腔体底板的下面，加热套的上表面采用金属材质制成，加热套的两个相对侧面分别设置热油进口和热油出口，热油进口与热油出口位于侧面上靠近顶端处。

5.根据权利要求4所述的玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，所述加热套下包覆设置槽状的保温套，保温套采用绝热材质制成，保温套的顶端低于热油进口及热油出口，保温套其槽内壁的形状与加热套外形相适配。