[实用新型]一种靶材背管喷砂电弧端面保护装置有效
申请号: | 201820489198.8 | 申请日: | 2018-04-04 |
公开(公告)号: | CN208151465U | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
发明(设计)人: | 常金永;张志祥;刘勇 | 申请(专利权)人: | 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C4/131 | 分类号: | C23C4/131 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅 |
地址: | 214437 江苏省无锡市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 靶材 背管 紧固环 电弧 本实用新型 保护罩 卡簧 喷砂 端面保护装置 端面保护 等离子喷涂 沿圆周方向 保护结构 连接端面 锁紧螺母 相对滑动 定位件 卡簧槽 位置处 拆装 端头 划伤 簧槽 装卸 变形 加工 | ||
本实用新型涉及靶材背管喷砂电弧的加工,具体的说是一种靶材背管喷砂电弧端面保护装置,属于等离子喷涂靶材技术领域。其包括靶材背管和连接在靶材背管两端的端面保护结构,靶材背管两端连接端面保护结构位置处沿圆周方向设有卡簧槽,端面保护结构包括保护端头、锁紧螺母、紧固环、定位件、保护罩和卡簧,卡簧位于靶材背管的卡簧槽中,卡簧的外圈设有紧固环,紧固环外圈设有保护罩,紧固环和保护罩套装在靶材背管上。本实用新型可靠性高,在长时间的旋转中,不会与靶材背管发生相对滑动,能有效的保护靶材背管端面不被划伤,并且端口不会变形。由于本实用新型拆装非常方便,节省了装卸时间,降低了成本。
技术领域
本实用新型涉及靶材背管喷砂电弧的加工,具体的说是一种靶材背管喷砂电弧端面保护装置,属于等离子喷涂靶材技术领域。
背景技术
目前,靶材的生产制造需要广泛用到等离子喷涂的生产工艺。在进行等离子喷涂前,靶材背管需要进行喷砂处理,以除去表面的灰尘、油污及其他附着物,并且其表面要达到一定的粗糙度;紧接着要在其表面电弧喷涂一定厚度的镍铝层,来增强待喷涂的靶材材料与背管的结合力。靶材背管需要装卡在转动装置上面,而喷砂的喷枪和电弧枪安装在行走机构上面,当进行喷砂电弧处理的时候,靶材背管以一定的速度轴向旋转,喷枪沿靶材背管的径向往复行走,以使靶材背管表面得到喷砂电弧处理。旋转靶材背管端口需要与真空磁控溅射设备相连接,所以其不能在生产过程任一工序中受到损坏,否则将导致其报废,而喷砂电弧对靶材端口的破坏力是非常强的,所以需要用装置对其进行保护。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足之处,从而提供一种靶材背管喷砂电弧端面保护装置,其结构简单,设计合理,成本较低,可靠性高,能够保护靶材背管端面保持完好,并且操作简单,省时省力,能提高生产效率,降低成本。
按照本实用新型提供的技术方案,一种靶材背管喷砂电弧端面保护装置包括靶材背管和连接在靶材背管两端的端面保护结构,其特征是:靶材背管两端连接端面保护结构位置处沿圆周方向设有卡簧槽,端面保护结构包括保护端头、锁紧螺母、紧固环、定位件、保护罩和卡簧,卡簧位于靶材背管的卡簧槽中,卡簧的外圈设有紧固环,紧固环外圈设有保护罩,紧固环和保护罩套装在靶材背管上;保护端头通过螺纹连接在紧固环内,保护端头背向靶材背管一侧设有锁紧螺母,锁紧螺母通过螺纹连接在紧固环内侧并将保护端头压紧在靶材背管端部,保护端头面向靶材背管一侧延伸到靶材背管端部内腔中;紧固环表面设有两个径向对称的定位条,保护罩上设有定位槽,定位槽中设有定位件,定位件能够与定位条配合实现紧固环和保护罩的定位。
进一步的,紧固环面向靶材背管一端设有轴向延伸的定位台阶,卡簧侧面与定位台阶接触形成紧固环一端定位,靶材背管上设有限位台阶,限位台阶与紧固环的定位台阶接触形成紧固环另一端定位。
进一步的,保护罩背向靶材背管一端中心设有顶针孔。
进一步的,保护端头面向靶材背管一侧和靶材背管端面之间设有硅橡胶垫。
本实用新型与已有技术相比具有以下优点:
1)、本实用新型结构简单,设计合理,可靠性高,在长时间的旋转中,不会与靶材背管发生相对滑动,能有效的保护靶材背管端面不被划伤,并且端口不会变形。
2)、由于本实用新型拆装非常方便,节省了装卸时间,降低了成本。
3)、本实用新型保护罩能在10-40毫米范围内调节,从而调节端口需要保护的长度,能够适用多种规格的靶材背管。
附图说明
图1为本实用新型主视图。
图2靶材背管主视图。
图3为紧固环主视图。
图4为保护罩主视图。
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C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
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