[实用新型]用于在沉积方法中使化学前体鼓泡的无气溶胶容器、使用其的贮器和系统

权利要求书

1.一种无气溶胶容器，其特征在于，所述容器包含：

流动导管，其具有起点、终点以及在所述起点和所述终点之间的定向转折；和

含有气溶胶的流体，其从所述起点流动；

其中

所述定向转折使所述气溶胶在所述无气溶胶容器中的停留时间最大化，以相变为蒸气；和

所述流动导管从所述起点到所述终点逐渐升高。

2.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其特征在于，所述流动导管具有截面，该截面的形状选自：至少部分圆形、至少部分椭圆形、至少部分正方形、至少部分矩形及其组合；

其中所述流动导管的截面面积从所述起点到所述终点减小。

3.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其特征在于，进一步包含覆盖所述流动导管的覆盖物。

4.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其特征在于，所述流动导管是具有螺旋形或蛇形形状的管子。

5.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其特征在于，进一步包含顶表面，其中所述容器的顶表面的形状选自圆形、椭圆形、正方形、矩形、蛇形形状及其组合。

6.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其特征在于，所述流动导管的所述起点包含筛网以减少进入所述无气溶胶容器的气溶胶。

7.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其特征在于，进一步包含用于增强向蒸气相变的加热器。

8.根据权利要求1所述的无气溶胶容器，其特征在于，进一步包含安装孔，所述安装孔用于将所述无气溶胶容器安装到贮器的盖子或至少一个其它的无气溶胶容器上。

9.一种用于将化学前体递送至处理装置的贮器，其特征在于，所述贮器包含：

侧壁；

基底；

盖子；

安装在所述盖子上的至少一个根据权利要求1至8中任一项所述的无气溶胶容器；

穿过所述盖子的入口管；和

穿过所述盖子的出口；

其中所述出口与最后的无气溶胶容器的出路流体连通。

10.一种用于储存和递送化学前体至处理装置的系统，其特征在于，所述系统包含：

用于将化学前体递送至处理装置的贮器，所述贮器包含：

侧壁；

基底；

盖子；

安装在所述盖子上的至少一个根据权利要求1至8中任一项所述的无气溶胶容器；

穿过所述盖子的入口管；和

穿过所述盖子的出口；

其中所述出口与最后的无气溶胶容器的出路流体连通；和

来自所述贮器的所述出口的化学前体的蒸气。