[实用新型]一种悬空二硫化钼柔性离子传感器有效
| 申请号： | 201820495830.X | 申请日： | 2018-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN208076440U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 李鹏 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 段俊涛 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二硫化钼 氮化硼 离子传感器 柔性基底 悬空 金属电极 复合梁 基底 长期稳定性 水蒸气 从上到下 上下表面 悬空结构 形变 保护层 散射 退化 检测 | ||
1.一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，包括从上到下连接在一起的氮化硼层(2-1)、二硫化钼层(2-2)、氮化硼层(2-3)，金属电极(2-4)和柔性基底(2-5)；所述二硫化钼层(2-2)位于氮化硼层(2-1)下方，位于氮化硼层(2-3)上方，且二硫化钼层(2-2)和氮化硼层(2-1)、氮化硼层(2-3)组成复合梁结构，复合梁两端分别与金属电极(2-4)连接，复合梁中间部分悬空；所述柔性基底(2-5)位于所述复合梁结构悬空部分下方。
2.根据权利要求1所述的一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，所述二硫化钼层(2-2)为单层或多层，一般为1-10层。
3.根据权利要求1所述的一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，所述氮化硼层(2-1)、氮化硼层(2-3)为单层或多层，一般为1-10层。
4.根据权利要求1所述的一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，所述二硫化钼层(2-2)、氮化硼层(2-1)和氮化硼层(2-3)组成复合梁结构的中间悬空部分中，二硫化钼层(2-2)、氮化硼层(2-1)和氮化硼层(2-3)的形状、面积相同；二硫化钼层(2-2)的上表面被氮化硼层(2-1)完全覆盖，二硫化钼层(2-2)下表面除去与金属电极接触部分，其余部分被氮化硼层(2-3)完全覆盖。
5.根据权利要求1所述的一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，所述复合梁悬空部分长度大于两个金属电极间距，呈松弛状态。
6.根据权利要求1所述的一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，所述金属电极(2-4)通过溅射、或蒸镀或其它方法形成于柔性基底(2-5)上表面，其中金属材料选用Au、Ag、Cu、Al、Pt中的任意一种。
7.根据权利要求1所述的一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，所述二硫化钼层(2-2)为1-10层。
8.根据权利要求1所述的一种悬空二硫化钼柔性离子传感器，其特征在于，所述氮化硼层(2-1)、氮化硼层(2-3)为1-10层。
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