[实用新型]一种微马达的角度测量装置有效
| 申请号： | 201820500733.5 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN208269826U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王艺程;李小石;代刚;周泉丰;杜亦佳 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01B7/30 | 分类号： | G01B7/30;H02K11/21 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王戈 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 马达 下电极 角度测量装置 电极 本实用新型 上底座 圆环 抗干扰能力 转子 电极设置 电容方式 定子设置 多个电容 提高装置 转子底板 检测 | ||
1.一种微马达的角度测量装置，其特征在于，所述角度测量装置包括：若干个上电极和若干个下电极；多个所述上电极设置在微马达的上底座，多个所述上电极处于一个以定子为中心的圆环上，所述定子设置在所述上底座上；所述下电极设置在微马达的转子底板上，多个所述下电极处于一个以转子为中心的圆环上，所述上电极与所述下电极形成多个电容结构。
2.根据权利要求1所述的角度测量装置，其特征在于，多个所述上电极分为第一组电极、第二组电极和第三组电极，所述第一组电极与所述第二组电极的相位差为180°，所述第一组电极与所述第三组电极的相位差为90°。
3.根据权利要求2所述的角度测量装置，其特征在于，所述第一组电极包括一个或多个第一上电极，多个所述第一上电极并联连接；所述第二组电极包括一个或多个第二上电极，多个所述第二上电极并联连接；所述第三组电极包括一个或多个第三上电极，多个所述第三上电极并联连接。
4.根据权利要求1所述的角度测量装置，其特征在于，在所述上电极与所述上底座之间设置有屏蔽层。
5.根据权利要求4所述的角度测量装置，其特征在于，在所述上电极与所述屏蔽层之间设置有第一绝缘层。
6.根据权利要求1所述的角度测量装置，其特征在于，在所述上电极的上表面设置有第二绝缘层。
7.根据权利要求1所述的角度测量装置，其特征在于，所述上电极的形状为圆形或扇形，所述下电极的形状为圆形或扇形。
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