[实用新型]基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器有效
| 申请号： | 201820500938.3 | 申请日： | 2018-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN208206796U | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张雪伟;祁云平;龚韩韩;周培阳;胡兵兵 | 申请（专利权）人： | 西北师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01D5/26 |
| 代理公司： | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 | 代理人： | 周立新 |
| 地址： | 730070 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 银膜 谐振腔 圆环形 折射率传感器 矩形谐振腔 并排设置 波导耦合 对称设置 双圆环形 连接膜 灵敏度 直波导 波导 本实用新型 降低功耗 耦合效率 分辨率 体积小 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔折射率传感器，其特征在于，包括并排设置的第一银膜（1）和第四银膜（9），第一银膜（1）的中部和第四银膜（9）的中部通过连接膜（5）相连接，第一银膜（1）和第四银膜（9）之间并排设置有第一直波导（4）和第二直波导（10），连接膜（5）上设有矩形谐振腔（8），第一直波导（4）和第二直波导（10）相对于矩形谐振腔（8）对称设置；第一银膜（1）上设有第一圆环形谐振腔（2），第一圆环形谐振腔（2）内设有第二银膜（3），第四银膜（9）上设有第二圆环形谐振腔（6），第二圆环形谐振腔（6）内设有第三银膜（7）；第一圆环形谐振腔（2）和第二圆环形谐振腔（6）相对于矩形谐振腔（8）对称设置。
2.根据权利要求1所述的基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔折射率传感器，其特征在于，第一直波导（4）、第二直波导（10）和矩形谐振腔（8）同轴设置，第一直波导（4）和第二直波导（10）均不与矩形谐振腔（8）相接触。
3.根据权利要求1所述的基于MIM波导耦合矩形和双圆环形谐振腔折射率传感器，其特征在于，第一圆环形谐振腔（2）、矩形谐振腔（8）和第二圆环形谐振腔（6）同轴设置，第一圆环形谐振腔（2）和第二圆环形谐振腔（6）均不与矩形谐振腔（8）相连。
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