[实用新型]一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置

说明书

本实用新型公开了一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置，包括箱体，箱体顶部安装有导风圈和进风安全网，进风安全网与导风圈相连，进风安全网上设置有进风格栅，箱体的底部连接高效过滤器，所述箱体内部设置有回字型漏斗式导流板、风机安装板、回字型挡流板和风机。气流从进风安全网经导风圈进入箱体内部，风机旋转，增加气流动能，风机出风口处气流通过回字型漏斗式导流板后，均匀地吹向四周，有效地减少了气流流动过程中产生的涡流，减少了流动过程中的压力损失，降低了箱体内部结构阻力，因而降低了能耗和气动噪声。同时，箱体四个顶角采用坡角折边的设计，可以很好的起到减振的效果。

技术领域

本实用新型涉及设备端自带风机过滤机组导流领域，尤其涉及一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置。

背景技术

随着半导体、液晶面板、医药、光学等等行业技术的飞速发展，对制造工艺环境的要求更加严格，微环境结晶技术应运而生，洁净室受关注的重点开始逐步转移到制造设备上，由此设备端所用的EFU数量逐渐增加，微环境结晶结束飞速发展。现代洁净技术必须具备高洁净度，高灵活性，低成本，低能耗的特性，传统的洁净技术已很难完全满足这些需求。目前能耗、噪声、振动、强度、均匀性等已作为设备端自带风机过滤单元性能优劣的衡量标准。因此本实用新型设计，提高设备端自带风机过滤单元性能，降低能耗和噪声，降低振动，提高设备强度，改善出风均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置，通过优化箱体内部导流机构，全面提升风机过滤机组的性能指标。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型设备端自带风机过滤机组导流装置，包括箱体，箱体顶部安装有导风圈和进风安全网，进风安全网与导风圈相连，进风安全网上设置有进风格栅，箱体的底部连接高效过滤器，所述箱体内部设置有回字型漏斗式导流板、风机安装板、回字型挡流板和风机，所述风机安装板的两端与箱体中部内壁连接，风机安装在风机安装板上，所述回字型漏斗式导流板以风机为中心线对称安装在箱体内的上部空间。

上述方案中，所述回字型挡流板安装在箱体下部内壁四周。

上述方案中，所述回字型漏斗式导流板上设有以风机为中心线对称的开孔。

上述方案中，所述回字型漏斗式导流板与箱体顶部设有间隙。

上述方案中，所述箱体四个顶角设置有坡角折边。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：气流从进风安全网经导风圈进入箱体内部，风机旋转，增加气流动能，风机出风口处气流通过回字型漏斗式流板后，均匀地吹向四周，有效地减少了气流流动过程中产生的涡流，减少了流动过程中的压力损失，降低了箱体内部结构阻力，因而降低了能耗和气动噪声。同时，回字型漏斗式导流板和挡流板将箱体内部分成上下两层空间，减少了上下层气流的互相干扰，有效地将上层气流均匀导向高效过滤器，从而达到降噪、均流的作用。箱体四个顶角采用坡角折边的设计，可以很好的起到减振的效果。

附图说明

图1是本实用新型新型设备端自带风机过滤机组导流装置的结构示意图；

图2是本实用新型新型设备端自带风机过滤机组导流装置的侧视图；

附图标记说明：1、进风安全网，2、回字型漏斗式导流板、3、回字型挡流板，4、风机安装板，5、导风圈，6、把手，7、风机，8、箱体，9、高效过滤器。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。