[实用新型]一种石英坩埚生产用打磨装置

说明书

本实用新型公开了一种石英坩埚生产用打磨装置，包括打磨装置本体，打磨装置本体底部设有底座，底座的内部设有第一液压缸，第一液压缸的顶部固定连接有升降台，升降台的上表面转动连接有三个旋转座，底座的顶部等距设有三个立柱，立柱的中部均通过第二液压缸连接有打磨机，本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型的结构简单新颖，实用性强，通过设置了第一液压缸和第三液压缸，第一液压缸可以控制打磨的高度，便于控制打磨的位置，且三个第三液压缸可以同时固定三个坩埚，以此进行多个坩埚同时打磨，大大提高了打磨效率，通过设置了太阳轮和行星轮，使坩埚在打磨时可以不停旋转，使其均匀受力，使打磨的效率和平整度。

技术领域

本实用新型涉及一种打磨装置，特别涉及一种石英坩埚生产用打磨装置，属于打磨装置技术领域。

背景技术

石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛，石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展，石英坩埚可在1450度以下使用，分透明和不透明两种，用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料，当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚，他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，在坩埚的生产过程中，打磨是十分重要的工艺，现有的打磨装置，打磨方式单一，不可以进行多个坩埚同时打磨，打磨效率不高，且打磨时坩埚不能均匀受力，使打磨的效率和平整度不高。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种石英坩埚生产用打磨装置，通过设置了第一液压缸和行星轮，解决了现有的打磨装置方式单一和打磨时受力不均的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

本实用新型一种石英坩埚生产用打磨装置，包括打磨装置本体，所述打磨装置本体底部设有底座，所述底座的内部设有第一液压缸，所述第一液压缸的顶部固定连接有升降台，所述升降台的上表面转动连接有三个旋转座，所述底座的顶部等距设有三个立柱，所述立柱的中部均通过第二液压缸连接有打磨机，所述立柱的顶部均通过横梁连接有传动盒，所述传动盒顶部的中间位置固定连接有电机，所述传动盒内部滑动连接有齿圈，所述齿圈的中间位置设有太阳轮，所述太阳轮的中间位置固定连接有主轴，所述主轴与电机的输出端固定连接，所述太阳轮的外侧与齿圈之间啮合连接有的三个行星轮，且所述行星轮等距排列在太阳轮的外侧，所述行星轮的中间均插有副轴，所述副轴均从行星轮中间穿过且副轴从传动盒底部穿出，所述副轴的顶部均通过轴承与传动盒转动连接，所述副轴的底部均固定连接有第三液压缸。

作为本实用新型的一种优选方案，所述旋转座均位于第三液压缸的正下方。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第三液压缸上远离传动盒的一端均固定连有缓冲垫。

作为本实用新型的一种优选方案，所述主轴通过轴承转动连接在传动盒底部。

作为本实用新型的一种优选方案，所述旋转座均与打磨机的位置相对应。

本实用新型所达到的有益效果是：本实用新型的结构简单新颖，实用性强，通过设置了第一液压缸和第三液压缸，第一液压缸可以控制打磨的高度，便于控制打磨的位置，且三个第三液压缸可以同时固定三个坩埚，以此进行多个坩埚同时打磨，大大提高了打磨效率，通过设置了太阳轮和行星轮，使坩埚在打磨时可以不停旋转，使其均匀受力，使打磨的效率和平整度。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型齿圈内部结构示意图；