[实用新型]一种二维辅助振动的压印装置

权利要求书

1.一种二维辅助振动的压印装置，其特征在于，包括工作台、XY轴位移台、Z轴位移台、二维微动平台、连接块、压印装置、加热板，其中，XY轴位移台通过螺钉固定在工作台的底板上，连接块通过螺钉固定在XY轴位移台上，二维微动平台通过螺钉固定在连接块上，Z轴位移台通过螺钉固定在工作台的支撑板上，压印装置中的模板卡盘通过螺钉固定在Z轴位移台上，加热板装卡在压印装置中的模板卡盘上。

2.根据权利要求1中所述的一种二维辅助振动的压印装置，其特征在于，所述的工作台包括底板、支撑板、支撑柱、横柱、透明塑料板，其中，支撑板固连在底板上，支撑柱固连在底板上，横柱一端固连在支撑板上，另一端固连在支撑柱上，透明塑料板通过胶接方式固定在支撑板、底板、支撑柱及横柱相互连接形成的图形空隙上，支撑板正对面无透明塑料板，构成一个半封闭工作环境。

3.根据权利要求1中所述的一种二维辅助振动的压印装置，其特征在于，所述的Z轴位移台包括一维位移台一和一维位移台二，其中，一维位移台一通过螺钉固定在支撑板上，一维位移台二通过螺钉固定在支撑板上，一维位移台一与一维位移台二中间存在一定距离。

4.根据权利要求1中所述的一种二维辅助振动的压印装置，其特征在于，所述的二维微动平台包括二维微动平台的铰链结构固定框、次级平台一、次级平台二、次级平台三、次级平台四、直梁型柔性铰链一、直梁型柔性铰链二、直梁型柔性铰链三、直梁型柔性铰链四、直梁型柔性铰链五、直梁型柔性铰链六、直梁型柔性铰链七、直梁型柔性铰链八、盛物台固定框、盛物台、衬底卡盘、衬底、压电陶瓷一、压电陶瓷二、预紧螺钉一、预紧螺钉二，其中，次级平台一、次级平台二、次级平台三、次级平台四在二维微动平台的铰链结构固定框内，次级平台一的两侧通过直梁型柔性铰链二与二维微动平台的铰链结构固定框连接，次级平台二的两侧通过直梁型柔性铰链四与二维微动平台的铰链结构固定框连接，次级平台三的两侧通过直梁型柔性铰链六与二维微动平台的铰链结构固定框连接，次级平台四的两侧通过直梁型柔性铰链八与二维微动平台的铰链结构固定框连接，盛物台固定框分别通过直梁型柔性铰链一、直梁型柔性铰链三、直梁型柔性铰链五、直梁型柔性铰链七与次级平台一、次级平台二、次级平台三、次级平台四连接，压电陶瓷一一端与次级平台一接触，另一端通过预紧螺钉一预紧并固定在二维微动平台的铰链结构固定框内，压电陶瓷二一端与次级平台二接触，另一端通过预紧螺钉二预紧并固定在二维微动平台的铰链结构固定框内，盛物台通过螺钉固定在盛物台固定框上，衬底卡盘通过螺钉固定在盛物台上，衬底放置在衬底卡盘中。

5.根据权利要求1中所述的一种二维辅助振动的压印装置，其特征在于，所述的压印装置包括模板和模板卡盘，其中，模板卡盘通过螺钉固定在Z轴位移台上，模板卡盘中置有真空空腔并有一条通道外接真空泵且在模板装卡处有若干个圆柱形小孔，使模板通过真空吸附在模板卡盘上，模板具有导热性。