[实用新型]一种中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备

说明书

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备。所述中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备，包括一真空腔体、一抽真空装置，所述真空腔体内设置有一环形工件转架、两个靶材凸腔、一用于放置弧源的弧源凸腔、一用于放置离子源的离子源凸腔；所述真空腔体内还设置有抽真空口，在抽真空口设置一风栅，所述风栅等距设置若干可转动的活动百叶。所述中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备设置有风栅，可通过调整风栅百叶的角度以控制抽气效果，在不同的溅射沉积工段调节真空腔体内部的气流分布以及调整气体中离子成分，控制真空腔体内部的真空度，最终达到使沉积的深灰色薄膜达到颜色均匀稳定的效果。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备。

背景技术

色彩具有强大的视觉表现效果，色系本身就意味着轻与重、冷与暖、华丽朴实，正面与负面等较多情感意义，展现无尽的联想和象征特性，以不同形式刺激不同的产品消费，并可结合图像、文字等辅助设施，对人的心灵和精神产生巨大的影响。

消费类电子产品要想获得广大的消费市场，满足众多消费人群的使用需求，就必须通过创新的色彩设计，来满足来自不同年龄、性别、地区、职业、文化程度的消费者。消费者的购买行为是由独特、个性、新潮的设计来促进的，通过颜色设计来改善产品现有状况，增强消费者的审美需求可以在促进消费行为方面得到一定良好的效果。

深空灰的颜色最早流行在3C行业，通常使用电泳的表面处理工艺完成。经过市场检验发现，用电泳工艺制备的深空灰薄膜存在易变色、掉颜色层、只能在铝材上进行等不足之处，从而有了在不锈钢表面用真空镀膜的方式沉积出深空灰颜色的技术需求。

深空灰颜色采用真空镀膜方式制备在工业界也有尝试，目前公开的一些设备及镀膜方法，存在着工艺极不稳定、重复性很差、颜色变化较大、附着力差、参数不易控制等问题。

实用新型内容

基于上述现有技术的缺陷与不足，本实用新型的目的在于提供一种中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备，使用该设备能够在不锈钢工件上装饰深空灰膜层，具有附着力良好，颜色均匀稳定、耐腐蚀、耐候性，耐磨擦的特点。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：

一种中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备，包括一真空腔体、一抽真空装置，所述真空腔体内设置有一环形工件转架、两个靶材凸腔、一用于放置弧源的弧源凸腔、一用于放置离子源的离子源凸腔；所述真空腔体内还设置有抽真空口，在抽真空口设置一风栅，所述风栅等距设置若干可转动的活动百叶；所述弧源凸腔和所述离子源凸腔分别设置于抽真空口两侧。

进一步的，所述中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备包括加热装置，在所述真空腔体内部设有若干与所述加热装置连接的加热管，所述加热管在环形工件转架中间排列成两组呈圆弧形上下对称的加热管阵。

进一步的，所述环形工件转架加载有偏压装置，从而在工件衬底与等离子体之间施加可控的偏置电压，用于调控磁控溅射的薄膜微观组织与性能。

进一步的，所述真空腔体设有一炉门，所述靶材凸腔对称设置于炉门两侧；靶材凸腔对称设置可使得沉积薄膜的颜色更加均匀，膜层性能更稳定。

进一步的，所述靶材凸腔均设置有两个分别用于放置中频磁控靶一部分的第一靶材位，在环形工件转架内侧设有放置中频磁控靶另一部分的与每一第一靶材位相对应的第二靶材位。

进一步的，所述中频磁控溅射沉积深空灰薄膜设备还包括气体分配装置，所述真空腔体内设有若干与气体分配装置连通的进气管。所述气体分配装置存储及输送的气体为工作气体和反应气体。工作气体为氩气(Ar)；反应气体为氮气(N₂)或乙炔(C₂H₂)，可根据需要配置。

进一步的，所述离子源凸腔放置的离子源为线性离子源。