[实用新型]一种强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备

权利要求书

1.一种强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备，其特征在于：所述强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备包括真空腔体、真空抽气装置、反应气体控制及分配装置、多弧电源；所述真空腔体内设有抽真空口、工件转架、多弧蒸发源、磁控溅射靶、若干加热管、若干气体分布管；所述抽真空口设置于所述真空腔体一侧面，所述工件转架设置于所述真空腔体的中间区域，所述加热管和气体分布管均匀布置在工件转架两侧；所述多弧蒸发源设置于真空腔体侧面，所述磁控溅射靶设置于与多弧蒸发源相对的另一侧面；所述多弧蒸发源的前端设置有活动连接的多弧挡板。

2.根据权利要求1所述的强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备，其特征在于：所述工件转架设置若干用于放置工件的工件挂架，所述工件转架、工件挂架及工件相互之间为非绝缘连接。

3.根据权利要求1所述的强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备，其特征在于：所述强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备还设有工件电源单元，所述工件电源单元包括工件电源和电源模式切换开关组；所述工件电源通过所述电源模式切换开关组进行切换清洗模式或沉积模式。

4.根据权利要求3所述的强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备，其特征在于：所述电源模式切换开关组包括负极开关、第一接地开关、正极开关、第二接地开关；所述负极开关一端与所述工件电性连接，另一端与所述工件电源的负极连接；所述第一接地开关一端与所述工件电源的负极连接，另一端接地；所述正极开关一端与所述工件电性连接，另一端与所述工件电源的正极连接；所述第二接地开关一端与所述工件电源的正极连接，另一端接地。

5.根据权利要求1所述的强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备，其特征在于：所述强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备包括一辅助阳极系统；所述辅助阳极系统包括设置辅助阳极电源和辅助阳极；所述辅助阳极电源设置于在真空腔体外部，所述辅助阳极设置于所述真空腔体内，所述辅助阳极通过辅助阳极电源线与辅助阳极电源正极连接，所述辅助阳极由真空腔体顶部往下伸入真空腔体。

6.根据权利要求5所述的强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备，其特征在于：所述辅助阳极包括壳体、电源线保护管、冷却水进口管、冷却水出口管、绝缘真空密封装置；所述壳体为具有内腔的柱状壳体，所述壳体的上端通过绝缘真空密封装置与所述真空腔体的顶部连接；所述电源线保护管连接所述阳极壳体；所述冷却水进口管由所述壳体的顶端伸入所述壳体的内腔的底部，所述冷却水出口管设于所述壳体的顶端。

7.根据权利要求1所述的强辉光放电沉积类金刚石碳膜设备，其特征在于：所述磁控溅射靶前端设置有活动连接的靶材挡板。