[实用新型]一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置

权利要求书

1.一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)上开设有通孔(11)，所述通孔(11)的直径大于待照胶晶圆(2)的直径，所述通孔(11)上盖设有用于放置所述待照胶晶圆(2)的透光板(3)；所述工作台(1)下方设置有UV面光源(4)，且所述UV面光源(4)的照射区域包括所述通孔(11)；还包括用于放置在所述待照胶晶圆(2)上的压块(5)。

2.根据权利要求1所述一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，还包括用于放置在所述工作台(1)上方笼罩所述透光板(3)、所述待照胶晶圆(2)和所述压块(5)的光罩(6)。

3.根据权利要求2所述一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，所述光罩(6)的内表面为黑色。

4.根据权利要求1所述一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，还包括反光杯(7)，所述反光杯(7)的小口径端与所述UV面光源(4)的发光面密封连接，所述反光杯(7)的大口径端与所述工作台(1)的下表面密封连接。

5.根据权利要求4所述一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，所述反光杯(7)的内侧面为铝合金全镜面反光片。

6.根据权利要求1所述一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，所述透光板(3)的透光率大于或等于90％。

7.根据权利要求1至6任一所述一种平面波导型光分路器晶圆的照胶装置，其特征在于，所述UV面光源(4)由UV点光源(41)阵列组成。