[实用新型]一种金刚线硅片预制绒装置有效
申请号: | 201820511929.4 | 申请日: | 2018-04-11 |
公开(公告)号: | CN207993878U | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 黄钧林;范维涛;龚小文;苏杨杨;孙晨财;张鑫;彭美平 | 申请(专利权)人: | 维科诚(苏州)光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0236 | 分类号: | H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 汪青;周敏 |
地址: | 215121 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 储液桶 加液 温度控制系统 加液组件 换热器 进液单元 金刚线 添加盒 制绒槽 硅片 液位 预制 加热器 安全防护性 本实用新型 温度感应器 水洗二槽 水洗一槽 维持稳定 药液输送 依次排列 烘干槽 能力强 酸洗槽 冰机 加热 储存 检测 | ||
本实用新型涉及一种金刚线硅片预制绒装置,包括依次排列的制绒槽、水洗一槽、酸洗槽、水洗二槽、烘干槽、加液组件、温度控制系统;加液组件包括能够输送药液到制绒槽的储液桶、能够对储液桶进行加液到初步液位的第一进液单元、储存有药液的添加盒、能够将添加盒内的药液输送至储液桶并使储液桶内的药液达到精准液位的第二进液单元;温度控制系统包括用来检测储液桶内药液温度的温度感应器、用来对储液桶内的药液进行加热的加热器、与储液桶相连通的换热器、与换热器相连通且用于降低换热器温度的冰机。加液组件的设置,使得加液速度快,加液快、加液准,安全防护性好;温度控制系统的设置,使得温度控制均匀,速度快,效果好,维持稳定能力强。
技术领域
本实用新型涉及一种金刚线硅片预制绒装置。
背景技术
现有技术中,在晶硅太阳能电池制造中,制绒工艺是对晶体硅片表面进行刻蚀,形成表面绒面结构,降低硅片表面的反射率,使得太阳光在硅片表面进行多次发射,进而增加对太阳光的吸收。因此在制绒工艺中的传输带也尤为重要。
硅片的加工过程,用氢氧化钠溶液来制作绒面,其原理是氢氧化钠对硅片表面腐蚀速度不同,从而导致硅片表面形成凹凸不平的状态。绒面能够使光线在硅片的表面发生多次反射,增加光线射入硅片的几率,硅片相应得到更多的能量。但是碱腐蚀硅片会产生大量热量,急速变化的温度不利于硅片的表面制绒,因此温度控制成为硅系列太阳能电池生产过程中的关键工艺。
现有技术的一种链式晶硅制绒设备(CN 205911321 U),包括沿所述晶硅的操作方向依次间隔排列的制绒槽、清洗槽、后处理槽、烘干槽以及用于传动花篮的链式传动系统,所述花篮用于装载硅片,所述的链式传动系统包括所述制绒槽、清洗槽、后处理槽和烘干槽中每个槽体均设置的独立的传动装置。虽然现有技术也是链式传输设备,但是硅片的破损率较高,同时设备运行不稳定。
链式晶硅制绒设备还包括制绒液输送装置,用于向制绒工艺槽持续或者间断地输送制绒液,使得制绒液体在预定的范围内,根据反应的批次,具有自动补液功能。这种液体的添加方式,会造成加液速度慢,加液量不准确,且没有安全防护,有可能造成药液的溢出。
链式晶硅制绒设备还包括位于制绒工艺槽里的温度控制装置,用于控制制绒液的温度,该装置对于药液温度变化响应慢,无法实时调节药液温度以保持温度的恒定,对于工艺效果影响极大。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种传送硅片稳定、破损率低、温度控制均匀、加液速度快且效果好的金刚线硅片预制绒装置。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:
一种金刚线硅片预制绒装置,包括依次排列的制绒槽、水洗一槽、酸洗槽、水洗二槽、烘干槽,所述的金刚线硅片预制绒装置还包括能够对所述的制绒槽进行加液的加液组件、用于控制所述的制绒槽中药液温度的温度控制系统,
所述的加液组件包括设置在所述的制绒槽的下方且能够输送药液到所述的制绒槽的储液桶、能够对所述的储液桶进行加液到初步液位的第一进液单元、设置在所述的储液桶的上方且储存有药液的添加盒、设置在所述的添加盒与所述的储液桶之间且能够将所述的添加盒内的药液输送至所述的储液桶并使所述的储液桶内的药液达到精准液位的第二进液单元;
所述的温度控制系统包括设置在所述的储液桶上且用来检测所述的储液桶内药液温度的温度感应器、设置在所述的储液桶上且用来对所述的储液桶内的药液进行加热的加热器、与所述的储液桶相连通的换热器、与所述的换热器相连通且用于降低所述的换热器温度的冰机。
具体地,所述的第二进液单元包括一端部与所述的添加盒相连通且另一端部与所述的储液桶相连通的第一管道、设置在所述的第一管道上的第一阀门,所述的第一阀门在单位时间内通过的药液的量为定值。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的