[实用新型]一种金刚线硅片预制绒设备有效
申请号: | 201820511987.7 | 申请日: | 2018-04-11 |
公开(公告)号: | CN207938620U | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 黄钧林;范维涛;龚小文;苏杨杨;孙晨财;张鑫;彭美平 | 申请(专利权)人: | 维科诚(苏州)光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0236 | 分类号: | H01L31/0236;H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 汪青;周敏 |
地址: | 215121 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 储液桶 金刚线 硅片 预制 换热器 温度控制系统 制绒槽 设备温度控制 加热器 本实用新型 温度感应器 加液组件 水洗二槽 水洗一槽 维持稳定 依次排列 烘干槽 能力强 酸洗槽 中药液 冰机 储存 | ||
1.一种金刚线硅片预制绒设备,包括依次排列的制绒槽(12)、水洗一槽(13)、酸洗槽(14)、水洗二槽(15)、烘干槽(16),所述的金刚线硅片预制绒设备还包括用于控制药液温度的温度控制系统、用于储存药液的储液桶(4),其特征在于:所述的温度控制系统包括设置在所述的储液桶(4)上且用来检测所述的储液桶(4)内药液温度的温度感应器(75)、设置在所述的储液桶(4)上且用来对所述的储液桶(4)内的药液进行加热的加热器(74)、与所述的储液桶(4)相连通的换热器(73)、与所述的换热器(73)相连通且用于降低所述的换热器(73)温度的冰机(72)。
2.根据权利要求1所述的金刚线硅片预制绒设备,其特征在于:所述的换热器(73)包括能够供药液通过的第一容置空间(732)、与所述的第一容置空间(732)相邻设置的且能够供所述的冰机(72)中的液体通过从而给所述的第一容置空间内的药液降温的第二容置空间(731)。
3.根据权利要求2所述的金刚线硅片预制绒设备,其特征在于:所述的第二容置空间(731)位于所述的第一容置空间(732)的外周。
4.根据权利要求2或3所述的金刚线硅片预制绒设备,其特征在于:所述的温度控制系统还包括设置在所述的冰机(72)与所述的换热器(73)之间且能够供液体从所述的冰机(72)流向所述的第二容置空间(731)内的第一进液管(83)、设置在所述的冰机(72)与所述的换热器(73)之间且能够供液体从所述的第二容置空间(731)流向所述的冰机(72)的第一出液管(84)。
5.根据权利要求2或3所述的金刚线硅片预制绒设备,其特征在于:所述的温度控制系统还包括设置在所述的储液桶(4)与所述的第一容置空间(732)之间且能够供药液从所述的储液桶(4)流向所述的换热器(73)的第二进液管(81)、设置在所述的储液桶(4)与所述的第一容置空间(732)之间且能够供药液从所述的第一容置空间(732)流向所述的储液桶(4)的第二出液管(82)。
6.根据权利要求1所述的金刚线硅片预制绒设备,其特征在于:所述的加热器(74)包括加热管。
7.根据权利要求6所述的金刚线硅片预制绒设备,其特征在于:所述的加热管为一根或者多根。
8.根据权利要求1或6所述的金刚线硅片预制绒设备,其特征在于:所述的加热器(74)选用耐酸碱、耐高温的材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的