[实用新型]一种重离子加速器用陶瓷真空管

说明书

本实用新型一种重离子加速器用陶瓷真空管，所述的陶瓷真空管包括陶瓷真空管内表面(1)、以及复合导电层(2)，所述的陶瓷真空管内表面(1)通过真空镀膜方法镀制的复合导电层(2)。所述的复合导电层(2)的厚度为0.05‑0.1μm。本实用新型的有益效果：结构简单、既能与A‑95陶瓷在高温下形成玻璃相而相互熔融、牢固结合，又能在表面形成具有一定电阻值的金属导体(或称半导体)，同时，玻璃相也能把表面的金属材料牢固的包裹起来，与陶瓷间接结合的重离子加速器用陶瓷真空管。

技术领域

本实用新型涉及化学及材料技术领域，具体涉及一种重离子加速器装置上的陶瓷真空管，使其内表面附着一层导电材料。

背景技术

氧化铝陶瓷是一种以氧化铝(AL2O3)为主体的材料，氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性。氧化铝陶瓷是一种用途广泛的陶瓷。因为其优越的性能，在现代社会的应用已经越来越广泛，满足于日用和特殊性能的需要。氧化铝陶瓷目前分为高纯型与普通型两种。普通型氧化铝陶瓷系按Al2O3含量不同分为99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品种。95氧化铝瓷主要用作耐腐蚀、耐磨部件；85瓷中由于常掺入部分滑石，提高了电性能与机械强度，可与钼、铌、钽等金属封接，有的用作电真空装置器件。在高频交变电场或者交变磁场作用下，用于制造重离子加速器的金属材料会因为产生涡流而发热，严重时会发生爆炸。A-95陶瓷材料既不会产生上述现象，又由于较高的机械强度，以及与金属材料封接后较高的抗拉强度、较低的真空漏率等优点，已广泛用于重离子加速器等装置上。对于重离子加速器装置上的陶瓷真空室而言，陶瓷两端会积聚一定数量的电荷，当数量较多时，希望电荷能够通过。因此陶瓷内表面需要有较小电阻的导电层。目前，多采用真空镀膜的方法获得。但是，对径向尺寸小，轴向尺寸大的陶瓷真空室，以及截面不规则的陶瓷真空室，真空镀膜或喷涂等方法变得困难(无法延伸，厚度不均匀，结合力差等)，甚至无法实现。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提出一种结构简单、既能与A-95陶瓷在高温下形成玻璃相而相互熔融、牢固结合，又能在表面形成具有一定电阻值的金属导体(或称半导体)，同时，玻璃相也能把表面的金属材料牢固的包裹起来，与陶瓷间接结合的重离子加速器用陶瓷真空管。

本实用新型一种重离子加速器用陶瓷真空管，所述的陶瓷真空管包括陶瓷真空管内表面1、以及复合导电2，所述的陶瓷真空管内表面1通过真空镀膜方法镀制R≤20Ω的复合导电层2。

所述的复合导电层2的厚度为0.05-0.1μm。

本实用新型的有益效果：

1)所述的陶瓷真空管内表面1通过真空镀膜方法镀制的复合导电层2，含有金属、金属氧化物、非金属氧化物三种材料成分，在高温烧结过程中不会有烧失现象发生，同时又能结合陶瓷材料的性能，与陶瓷表面相互熔融、牢固结合，进而在陶瓷真空室内表面1形成具有一定电阻值的金属导体(或称半导体)，同时，玻璃相也能把表面的金属材料牢固的包裹起来，与陶瓷间接结合，因此复合导电层3与陶瓷真空室内表面1结合力特别高，不易脱落，导电性能好，耐磨损；

2)结构简单、制作工艺简便、对人体无伤害、对环境无污染。

附图说明

图为本实用新型的结构示意图。

图中：陶瓷真空管内表面1、复合导电层2。

具体实施方式

本实用新型一种重离子加速器用陶瓷真空管由陶瓷真空管内表面1、以及复合导电层2，所述的陶瓷真空管内表面1通过真空镀膜方法镀制的复合导电层2。由于陶瓷真空管所用材料为A-95陶瓷材料，属于固相烧结陶瓷，在表面烧结导电层难度较大。参考陶瓷金属化原理，经多次试验、测量，得到一种既能与A-95陶瓷在高温下形成玻璃相而相互熔融、牢固结合，又能在表面形成具有一定电阻值的金属导体(或称半导体)，同时，玻璃相也能把表面的金属材料牢固的包裹起来，与陶瓷间接结合。玻璃相的含量很重要既不能因其含量高而失去导电性，同时影响陶瓷金属化的完成，也不能因其含量低而使导电层与陶瓷结合力差，产生剥落现象。所述的复合导电层2的电阻值R≤20Ω，厚度为0.05-0.1μm。由于重离子加速器用陶瓷真空室要经过金属化、钎焊等多次高温过程，因此，导电层必须要能耐受多次高温的考验，不能有烧失现象发生。同时，涂覆层不易太厚，须满足设计要求，所以，在涂覆导电层时要确保厚度适宜。