[实用新型]一种中心对称的UVW平台

权利要求书

1.一种中心对称的UVW平台，其特征在于，包括定平台与驱动机构；

所述定平台的上方设有动平台，动平台与定平台之间相互平行，所述定平台与动平台之间设置有导向机构，导向机构可使动平台相对于定平台沿Y向或者X向移动；

所述导向机构包括三套导向组件；

所述导向组件包括第一直线运动导向元件、第二直线运动导向元件和回转运动导向元件，第一直线运动导向元件的导向方向与第二直线运动导向元件的导向方向相互垂直，并且第一直线运动导向元件中的固定件与第二直线运动导向元件的活动件相连，第一直线运动导向元件的中的活动件通过回转运动导向元件与动平台相连，回转运动导向元件可使动平台相对于第一直线运动导向元件的活动件绕回转运动导向元件的轴心线旋转，回转运动导向元件的轴心线与Z向平行，第二直线运动导向元件的固定件与定平台相连；

其中一套导向组件中的回转运动导向元件与动平台的几何中心相连，并且此导向组件中的第一直线运动导向元件对动平台作X向导向，此导向组件中的第二直线运动导向元件对动平台作Y向导向，驱动机构有三套，其中一套驱动机构驱动此第二直线运动导向元件的活动件沿Y向移动，进而驱动动平台沿Y向移动；

另外两套导向组件中的回转运动导向元件分别与动平台相连，并且此两回转运动导向元件关于动平台的对称中心中心对称，此两套导向组件中的第一直线运动导向元件对动平台作Y向导向，此两套导向组件中的第二直线运动导向元件对动平台作X向导向，并且另外两套驱动机构各自驱动一第二直线运动导向元件的活动件沿X向移动，进而驱动动平台沿X向移动。

2.根据权利要求1所述的中心对称的UVW平台,其特征在于，所述导向机构还包括有两套导向组件，此两套导向组件中的回转运动导向元件分别与动平台相连，并且此两回转运动导向元件关于动平台的对称中心中心对称，此两套导向组件中的第一直线运动导向元件对动平台作Y向导向，此两套导向组件中的第二直线运动导向元件对动平台作X向导向。

3.根据权利要求1或2所述的中心对称的UVW平台，其特征在于，所述第一直线运动导向元件和第二直线运动导向元件均为滚动直线导轨副，第一直线运动导向元件和第二直线运动导向元件的活动件均为滚动直线导轨副中的滑块，第一直线运动导向元件和第二直线运动导向元件的固定件均为滚动直线导轨副中的导轨，回转运动导向元件为交叉滚珠轴环，交叉滚珠轴环的外圈与动平台相连，交叉滚珠轴环的内圈与第一直线运动导向元件的活动件相连。

4.根据权利要求3所述的中心对称的UVW平台,其特征在于，所述驱动机构包括伺服电机、滚珠丝杆副、连接板和两个轴承座；

所述滚珠丝杆副中的丝杠两端各与一轴承座旋转连接；

所述伺服电机通过联轴器与丝杠连接；

所述连接板的一端与滚珠丝杆副中的螺母相连，另一端与第一直线运动导向元件的滑块相连，伺服电机驱动丝杠旋转，进而带动滑块在导轨上直线运动。

5.根据权利要求1所述的中心对称的UVW平台,其特征在于，所述定平台的下方设有隔震台，定平台固定于隔震台上。

6.根据权利要求5所述的中心对称的UVW平台,其特征在于，所述定平台上开设多个定位孔，隔震台上设有与定位孔相对应数量的定位销，并且定位销插设于相应定位孔内。