[实用新型]一种基板缺陷检测装置

说明书

本实用新型提供一种基板缺陷检测装置，包括光源机构、摄像机构、传送机构、图像处理机构，传送机构用于传送基板，光源机构包括第一光源，摄像机构包括第一摄像头，第一光源和第一摄像头均位于基板一侧，且第一光源和第一摄像头镜像对称设置，摄像机构还包括第二摄像头，第二摄像头位于基板另一侧。本实用新型的基板缺陷检测装置，通过在基板正面和背面设置两组摄像头，并通过一组设置在基板正面侧的光源，从而在基板传送过程中，自动检测出基板正面和背面存在的微小裂纹或划痕等不良，及时拦截异常基板，减少大量的基板报废，提高生产良率，降低生产成本。

技术领域

本实用新型属于检测装置技术领域，尤其涉及一种基板缺陷检测装置。

背景技术

在液晶面板行业中，配向膜的涂布主要通过转印或喷墨的方式，其中转印式由于其准确性及印刷表面相对均匀性等优点得到广泛的使用。具体来说，就是通过PI喷嘴11将PI液喷涂在刮刀12上，再由刮刀12均匀地将PI液转印到网纹轮13上，网纹轮13的转动把PI液再转印到APR版15上，APR版15上的圆形网孔将PI液挤压出来并带走，最后均匀地转印到放置于基台17上的TFT基板或CF基板16上，如图1所示。如果基台残留有微小玻璃碎屑等异物，PI液转印过程中，基台上异物会给TFT基板或CF基板背面一向上的应力，使得TFT基板或CF基板背面出现微小裂纹。如何能有效地减少微小裂纹的发生，主要有两方面，一是“预”，即定期清理卡匣、传送设备、转印基台；第二个方面是“防”，即改良检查设备，第一时间发现不良问题，及时有效地避免异常发生。

现有技术中，PI液涂布完后经预烘烤，以一定的频率进入自动光学检查机检查TFT或CF基板表面的缺陷(如mura、异物等)，再以一定的频率进入人工检查机进行人工肉眼检查。其存在的缺陷是自动光学检查机只能检查出TFT或CF基板表面的异物，无法检测出背面存在的微小裂纹或划痕。而人工肉眼检查又无法发现，不能及时拦截异常基板，会造成大量的基板报废，降低生产良率，增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够同时检测基板正面和背面不良的基板缺陷检测装置。

本实用新型提供一种基板缺陷检测装置，包括光源机构、摄像机构、用于传送基板的传送机构以及图像处理机构，所述光源机构包括第一光源，所述摄像机构包括第一摄像头和第二摄像头，所述第一光源和第一摄像头位于基板的同一侧，且所述第一光源和第一摄像头呈镜像对称设置，第一光源和第一摄像头之间形成大于0°小于180°的夹角，所述第二摄像头位于基板的另一侧。

优选地，所述第一摄像头和第二摄像头均包括多个CCD镜头。

优选地，所述第一摄像头和第一光源位于基板的正面，所述第二摄像头位于基板的背面。

优选地，所述传送机构位于所述第一摄像头和第二摄像头之间，所述第一摄像头接收由所述第一光源发出经所述基板正面反射的光信号。

优选地，所述第二摄像头接收由所述第一光源发出经所述基板背面折射的光信号。

优选地，所述夹角为20-30°。

优选地，所述第一光源由一个或多个光源组成。

优选地，还包括移动机构，所述移动机构包括电机和支架，所述第一摄像头和第二摄像头固定在支架上。

优选地，所述摄像机构还包括第二光源，所述第二光源与第二摄像头位于同一侧，且所述第二光源和第二摄像头镜像对称设置。

优选地，所述第一光源和第一摄像头的焦点与所述第二光源和第二摄像头的焦点重叠或不重叠。