[实用新型]一种微型LED探针

权利要求书

1.一种微型LED探针，其特征在于，包括探针头和与所述探针头连接的连接部；

所述探针头包括有源面板、驱动电路、微型LED阵列和单光子雪崩二极管SPAD荧光探测器；所述驱动电路集成在所述有源面板的第一侧面，包括多个呈阵列排布的驱动单元，所述微型LED阵列位于所述驱动电路远离所述有源面板的一侧，包括多个呈矩阵排布的微型LED；所述驱动单元与所述微型LED一一对应，每个所述驱动单元用于驱动对应所述微型LED；

所述SPAD荧光探测器集成在所述有源面板的第二侧面，包括多个呈阵列排布的SPAD荧光探测元件，所述SPAD荧光探测元件与所述驱动单元一一对应。

2.根据权利要求1所述的微型LED探针，其特征在于，所述SPAD荧光探测元件包括SPAD、第一电阻和存储元件；所述第一电阻的第一端与所述有源面板上的第一电压线电连接，第二端与所述存储元件的第一极以及所述SPAD的阴极电连接，所述存储元件的第二极以及所述SPAD的阳极接地。

3.根据权利要求2所述的微型LED探针，其特征在于，所述存储元件是第一电容。

4.根据权利要求2所述的微型LED探针，其特征在于，还包括第一包覆层，所述第一包覆层等厚包覆所述微型LED探针除所述微型LED以及所述SPAD之外的区域。

5.根据权利要求4所述的微型LED探针，其特征在于，所述第一包覆层的材料为聚对二甲苯Parylene C。

6.根据权利要求2所述的微型LED探针，其特征在于，还包括第二包覆层以及第三包覆层，所述第二包覆层等厚包覆所述探针头除所述微型LED以及所述SPAD之外的区域，所述第三包覆层等厚包覆所述连接部。

7.根据权利要求1所述的微型LED探针，其特征在于，所述驱动单元包括第一晶体管、第二晶体管以及第二电容；所述第一晶体管的栅极与所述驱动单元的控制端电连接，所述第一晶体管的第一极与所述驱动单元的输入端电连接，所述第一晶体管的第二极与所述第二晶体管的栅极以及第二电容的第一极电连接；所述第二晶体管的第一极和所述第二电容的第二极与所述有源面板上的第二电压线电连接，所述第二晶体管的第二极与所述驱动单元对应的微型LED的阳极电连接；所述驱动单元对应的微型LED的阴极接地。

8.根据权利要求1所述的微型LED探针，其特征在于，所述微型LED的尺寸为5μm。

9.根据权利要求1所述的微型LED探针，其特征在于，所述探针头的厚度为10μm。

10.根据权利要求1所述的微型LED探针，其特征在于，包括衬底，所述衬底包括第一子部和第二子部，所述第一子部为所述有源面板的衬底，所述第二子部为所述连接部的衬底；所述衬底的材料为柔性材料。

11.根据权利要求10所述的微型LED探针，其特征在于，所述柔性材料为Parylene C。