[实用新型]一种硬软抛一体机

权利要求书

1.一种硬软抛一体机，至少包括硬软抛盘、位于硬软抛盘下方的研磨盘气缸和回收硬软抛混合液的硬软抛液回收槽、位于硬软抛盘上方的研磨装置、硬抛液喷头和软抛液喷头，所述硬抛液喷头通过第一供给管路与硬抛液储存装置连接，所述软抛液喷头通过第二供给管路与软抛液储存装置连接，其特征在于：所述硬软抛盘为硬抛盘面和软抛盘面镶嵌组合，研磨盘气缸驱动软抛盘面相对于硬抛盘面升降。

2.根据权利要求1所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：所述硬抛盘面由复数个环形盘面同心圆排列而成。

3.根据权利要求1所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：所述软抛盘面由复数个环形盘面同心圆排列而成。

4.根据权利要求1所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：所述研磨盘气缸的表面具有复数个凸部，所述凸部与软抛盘面对应，驱动所述软抛盘面相对于硬抛盘面升降。

5.根据权利要求1所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：所述研磨装置至少包括对称的两个研磨轴和一研磨轴气缸，所述研磨轴在研磨轴气缸的驱动下沿硬软抛盘表面旋转。

6.根据权利要求1所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：所述硬软抛液回收槽和软抛液储存装置之间依次连接有泵，以及过滤硬软抛混合液的过滤装置。

7.根据权利要求5所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：每个所述研磨轴的内部均设置测量所需研磨元件厚度的自动测厚装置。

8.根据权利要求7所述的一种硬软抛一体机，其特征在于：所述自动测厚装置为红外自动测厚装置。