[实用新型]一种可延长清理周期的喷淋板

说明书

本实用新型公开了一种可延长清理周期的喷淋板：喷淋板设内部气体分布管；所述的内部气体分布管均设有喷淋孔组，所述每一个喷淋孔组由若干个与反应腔连通的喷淋孔组成,反应气体从喷淋孔喷出进入反应腔；所述喷淋板表面、内部气体分布管的管壁、喷淋孔的孔壁上均涂覆特氟龙涂层。

技术领域

本实用新型涉及板式ALD设备，具体涉及一种可延长清理周期的喷淋板。

背景技术

喷淋板(或者称喷淋头、喷淋组件、喷淋结构)是应用在原子层沉积设备中向腔体内进气并布气的装置。但是现有的喷淋板表面很容易沉积工艺粉末，需要定期清理，周期一般为4天，每台设备清理一次的时间约3～4小时，降低了设备产能。

发明内容

为了解决现有技术中原子层沉积设备的喷淋板易沉积工艺粉末，清洗周期短的技术问题，本实用新型提出了一种在喷淋板上喷涂涂层的技术方案。

一种可延长清理周期的喷淋板，喷淋板设内部气体分布管，内部气体分布管交叉布置；所述的内部气体分布管均设有喷淋孔组，所述每一个喷淋孔组由若干个与反应腔连通的喷淋孔组成,反应气体从喷淋孔喷出进入反应腔；其特征在于：所述喷淋板表面、内部气体分布管的管壁、喷淋孔的孔壁均喷涂特氟龙。

所述的喷淋孔的孔径大小及孔间距离可以调节。

本实用新型通过在传统喷淋板表面喷涂特氟龙，在中低温(200°以下)的真空环境下使用，达到喷淋板上无成核点的效果，从而使工艺粉末不易在喷淋板上沉积。

本实用新型把传统的喷淋板按以下流程进行处理：

(1)清洗去油；

(2)表面喷砂，增加表面粗糙度；

(3)在中温下镀特氟龙，温度一般在50°～150°；

有益效果：

(1)延长维护周期，根据镀膜工艺不同，维护周期能够延50％～100％；

(2)减少定期清理喷淋板的成本；

(3)有效提高设备产能。

附图说明

图1是本实用新型的喷淋板的示意图。

图2是图1的局部放大图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明。

如图1所述，喷淋板1设内部气体分布管2；所述的内部气体分布管2均设有喷淋孔组(图中未示出)，所述每一个喷淋孔组由若干个与反应腔连通的喷淋孔(图中未示出)组成,反应气体从喷淋孔喷出进入反应腔。

如图2所示，喷淋板表面、内部气体分布管的管壁、喷淋孔的孔壁(图中未示出)均喷覆特氟龙涂层3。

在中低温(200°以下)的真空环境下使用，达到喷淋板上无成核点的效果，从而使工艺粉末不易在喷淋板上沉积。