[实用新型]药液和超临界流体的混合装置

权利要求书

1.一种药液和超临界流体的混合装置，其是用于混合药液和超临界流体的混合装置，药液和超临界流体用于清洗基板，其特征在于，药液和超临界流体的混合装置包括：

腔室，其获得所述药液和超临界流体的供给，并实现药液和超临界流体的混合；以及

振动产生部，其设置于所述腔室的外部，通过在所述腔室内部的药液和超临界流体中引起振动而实现混合。

2.根据权利要求1所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，所述振动产生部包括：

振荡器，其使得频率产生；

振子，其与所述振荡器进行电连接，并且安装于所述腔室的外壁，向所述腔室内部的药液和超临界流体施加振动。

3.根据权利要求2所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

所述振荡器产生20～100kHz的超声波。

4.根据权利要求2所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

所述振荡器产生100kHz以上的高频。

5.根据权利要求2所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

在所述腔室的外壁周围以上下具有间隔的形式设置有多个所述振子。

6.根据权利要求1所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

在所述腔室的下部设置有可旋转的状态的搅拌磁铁，

在所述搅拌磁铁所处的所述腔室的外侧设置有电动电磁铁和马达，电动电磁铁用于利用磁力使得所述搅拌磁铁旋转，马达提供用于旋转所述电动电磁铁的驱动力。

7.根据权利要求6所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

所述搅拌磁铁和电动电磁铁在隔着所述腔室的状态下以非接触的形式进行旋转。

8.根据权利要求6所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

所述搅拌磁铁和电动电磁铁在相互面对的面以反复的形式设置有N极和S极。

9.根据权利要求8所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

所述搅拌磁铁形成为螺旋桨形态。

10.根据权利要求1所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

药液流入管和超临界流体流入管连接于所述腔室的一侧，

混合流体供给管连接于所述腔室的另一侧，混合流体供给管用于向实现基板的清洗或干燥的座圈侧供给由药液和超临界流体混合的混合流体。

11.根据权利要求10所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

在所述药液流入管和超临界流体流入管及混合流体供给管设置有用于开闭各自管道的阀门。

12.根据权利要求1所述的药液和超临界流体的混合装置，其特征在于，

所述药液是异丙醇(IPA)或者共溶剂，

所述超临界流体是超临界二氧化碳。