[实用新型]一种微电子器件的除尘装置

权利要求书

1.一种微电子器件的除尘装置，其特征在于，包括支撑件(1)和固定架(4)，所述固定架(4)的底端与支撑件(1)连接；所述支撑件(1)上设有导风腔(11)、回风腔(12)，所述导风腔(11)内嵌设有导风腔管(2)，所述导风腔管(2)顶端与离子风机(5)连接，所述离子风机(5)固定在支撑件(1)或固定架(4)上；所述导风腔管(2)底端穿出所述导风腔(11)并低于所述支撑件(1)的底面；

所述回风腔管(3)对称分布在所述导风腔(11)两侧，所述回风腔(12)内均嵌设有回风腔管(3)，所述回风腔管(3)顶端与吸尘机(6)连接，所述吸尘机(6)固定在支撑件(1)或固定架(4)上；所述回风腔管(3)底端与所述支撑件(1)的底面平齐；所述吸尘机(6)位于离子风机(5)的任一侧。

2.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述支撑件(1)底部边沿处设有向外、向下延伸的翅部(13)，所述翅部(13)位于所述回风腔(12)外侧。

3.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述导风腔管(2)底部边沿处设有向外、向下延伸的翼部(21)。

4.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，还包括固定架(4)，所述固定架(4)包括多个竖杆(42)和横杆(41)，所述竖杆(42)平行设在所述支撑件(1)顶壁上，所述横杆(41)平行固设在竖杆(42)上且与所述竖杆(42)垂直；

所述离子风机(5)、吸尘机(6)均设置在所述横杆(41)上，所述离子风机(5)、吸尘机(6)分别通过气管与所述导风腔管(2)、回风腔管(3)连接。

5.根据权利要求2所述的除尘装置，其特征在于，在所述翅部(13)底部设有镂空的安装板，所述安装板的底面上设有毛刷。