[实用新型]一种夹持式半导体机械手末端执行器有效
| 申请号： | 201820563623.3 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN208179574U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 李晓东 | 申请（专利权）人： | 北京锐洁机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/02 | 分类号： | B25J15/02;B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知识产权代理有限公司 11577 | 代理人： | 李芙蓉;孙进华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械手末端 夹持式 晶圆 半导体 底板 抓取 本实用新型 机械手搬运 末端执行器 传统真空 机械手夹 晶圆边缘 上下表面 固定架 吸附 | ||
1.一种夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，所述末端执行器包括手指部分、固定架部分和底板部分，
所述手指部分包括V形手指，V形手指两个分叉前端分别都具有前夹持块和前晶圆支撑块；V形手指后部中央具有后晶圆支撑块；V形手指后端与底板连接，
所述固定架部分包括Y形固定架，Y形固定架两个分叉前端分别具有后夹持块，后夹持块位于后晶圆支撑块两侧且在手指部分轴向方向上位于后晶圆支撑块与前晶圆支撑块之间；Y形固定架后端与气缸连接，
所述底板部分包括底板和底板上安装的气缸。
2.根据权利要求1所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，所述前夹持块和后夹持块均采用槽口设计。
3.根据权利要求2所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，所述前晶圆支撑块和后晶圆支撑块均采用坡口设计。
4.根据权利要求3所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，在竖直方向上，所述前后夹持块位于所述前后晶圆支撑块上部。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，所述手指部分包括上下间隔叠置且结构相同的两个手指，且所述固定架部分包括上下间隔叠置且结构相同的两组后夹持块。
6.根据权利要求1所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，V形手指后端采用螺钉与底板连接；后夹持块采用螺钉与Y形固定架连接；Y形固定架后端通过安装板与气缸采用螺钉连接。
7.根据权利要求1所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，所述气缸上部安装有限位检测片，气缸侧面安装有限位传感器。
8.根据权利要求7所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，气缸上还设置有气缸行程调节螺钉。
9.根据权利要求8所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，底板上还安装有调速阀；气缸上还设有气嘴。
10.根据权利要求9所述的夹持式半导体机械手末端执行器，其特征在于，所述气缸、调速阀与限位传感器分别通过螺钉与底板连接。
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