[实用新型]修正板、均匀修正装置及其镀膜机有效

专利信息
申请号: 201820565363.3 申请日: 2018-04-18
公开(公告)号: CN208151466U 公开(公告)日: 2018-11-27
发明(设计)人: 阮春林;张鹏 申请(专利权)人: 东莞市天瞳电子有限公司
主分类号: C23C14/12 分类号: C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 张艳美;王志
地址: 523000 广东省东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 修正板 本实用新型 支撑臂 修正装置 辊轴 弯折结构 一端连接 支撑机构 镀膜机 厚度均匀 上下摆动 弧形面
【说明书】:

实用新型公开了本实用新型提供了一种修正板,所述修正板呈弯折结构,所述弯折结构形成弧形面;本实用新型的修正板的结构简单的、便于形成厚度均匀;本实用新型还公开了一种具有上述修正板的均匀修正装置,其包括修正板及支撑机构,所述修正板如上所述,所述支撑机构包括支撑臂及辊轴,所述支撑臂的一端连接所述修正板,所述支撑臂的另一端连接所述辊轴,所述支撑臂以所述辊轴为轴心呈上下摆动的调节所述修正板的相对高度;本实用新型还公开了一种具有上述均匀修正装置的镀膜机。

技术领域

本实用新型涉及蒸发镀膜技术领域,尤其涉及一种修正板、均匀修正装置及其镀膜机。

背景技术

目前,光学薄膜行业内采用镀膜机制造光学薄膜,其原理是通过将光学薄膜材料气化成分子结构后的气体喷射至开设有镀膜单元的伞架,伞架通过不断的旋转以使得气化后的光学薄膜材料在镀膜单元固化生成光学薄膜。然而,由于伞架为伞状结构,气化后的光学薄膜材料喷出时具有初速度,气化后的光学薄膜材料到达伞架的各个点的距离不同,使得气化后的光学薄膜材料到达伞架的各个点的数量不同,造成同一镀膜单元及不同镀膜单元之间生成的光学薄膜的厚度不均匀,大大影响了光学薄膜的精度。现有技术中,生产过程也会采用平板结构的修正板以阻挡气化后的光学薄膜材料直接喷射到伞架,以降低因气化后光学薄膜材料喷射时具有不同的初速度造成的光学薄膜的厚度不均匀。但是,由于平板结构的修正板的各个点到伞架的各个点的距离不一致,依然会使得光学薄膜的厚度不均匀,仍然无法满足现有技术对高精度光学薄膜的要求,大大制约了光学薄膜行业的发展。

因此,亟需一种结构简单的、便于形成厚度均匀的薄膜的修正板、均匀修正装置及其镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单的、便于形成厚度均匀的薄膜的修正板。

本实用新型的另一目的在于提供一种结构简单的、便于形成厚度均匀的薄膜的均匀修正装置。

本实用新型的又一目的在于提供一种结构简单的、便于形成厚度均匀的薄膜的镀膜机。

为实现上述目的,本实用新型提供了一种修正板,所述修正板呈弯折结构,所述弯折结构形成弧形面。

较佳地,所述修正板设置有加强筋。

较佳地,所述加强筋与所述修正板一体成型。

较佳地,所述修正板呈两端窄中间宽的橄榄形结构。

相应地,本实用新型还提供了一种均匀修正装置,其包括修正板及支撑机构,所述修正板如上所述,所述支撑机构包括支撑臂及辊轴,所述支撑臂的一端连接所述修正板,所述支撑臂的另一端连接所述辊轴,所述支撑臂以所述辊轴为轴心呈上下摆动的调节所述修正板的相对高度。

较佳地,所述支撑机构还包括连接件,所述连接件连接于所述修正板与所述支撑臂之间。

较佳地,所述连接件垂直设置于所述支撑臂上。

相应地,本实用新型还提供了一种镀膜机,其包括壳体、伞架及如上所述的均匀修正装置,所述壳体呈中空结构形成蒸镀腔,所述伞架呈旋转的设置于所述蒸镀腔内,所述伞架呈伞状结构,所述伞状结构形成球形面,所述球形面呈镂空的形成若干镀膜单元,所述均匀修正装置的所述弧形面与所述球形面相对应,所述辊轴枢接于所述镀膜腔的侧壁上,镀膜时所述修正板阻挡伞架下方的蒸镀源形成的气体直接喷射于伞架上,所述气体藉由所述修正板于所述镀膜单元上形成厚度均匀的薄膜。

较佳地,所述弧形面的曲率等于所述球形面的曲率。

较佳地,所述镀膜机包括两呈对称设置的所述均匀修正装置,所述修正板的两端分别位于所述伞架的中心及边缘的正下方。

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