[实用新型]硅片分片及吸片送片装置

权利要求书

1.硅片分片及吸片送片装置，其特征在于，包括传送装置、分片装置、升片装置和送片装置；所述传送装置安装在分片装置一端，分片装置安装在水箱内，分片装置的另一端装有升片装置，升片装置的上方装有送片装置；所述分片装置的分片水刀（21）将竖向放置的硅片（8）分离，分离后的硅片（8）由升片装置的升片皮带（31）吸附并传送到送片装置的送片皮带（61）上，送片皮带（61）将竖向的硅片（8）变成水平状。

2.根据权利要求1所述的硅片分片及吸片送片装置，其特征在于，所述传送装置包括硅片料盒（13）、料盒导轨（12）和直线模组；所述料盒导轨（12）设置在水箱的底部，硅片料盒（13）活动放置在料盒导轨（12）上，直线模组与料盒导轨（12）平行安装，直线模座的滑台上装有推板（11），推板（11）与硅片料盒（13）连接；硅片料盒（13）的挡料板（14）上装有喷水口（15），喷水口（15）与电磁阀连接。

3.根据权利要求1所述的硅片分片及吸片送片装置，其特征在于，所述分片装置包括两个分片水刀（21）和分片传感器（22）；所述分片水刀（21）位于升片装置的一端，且位于硅片料盒（13）的两侧，分片水刀（21）倾斜安装，两个分片水刀（21）的水流相交于硅片（8）的下方；分片水刀（21）的一侧装有分片传感器（22）。

4.根据权利要求1所述的硅片分片及吸片送片装置，其特征在于，所述升片装置包括升片皮带（31）、升片带轮（33）和吸片盒（32）；所述升片皮带（31）的正面为光滑的平面，背面设有带齿（313），所述升片带轮（33）上设有与带齿（313）相匹配的驱动齿，驱动齿与带齿（313）啮合；所述升片带轮（33）分别固定在升片主动轴（37）和升片从动轴（36）上，升片主动轴（37）与电机（71）连接；所述升片皮带（31）上还设有多个吸片孔（311），吸片孔（311）与吸片盒（32）上的吸水孔（321）相对应，吸片盒（32）位于升片主动轴（37）和升片从动轴（36）之间，吸片盒（32）与水泵连接。

5.根据权利要求4所述的硅片分片及吸片送片装置，其特征在于，所述吸片盒（32）包括吸水板（325）和背板（324），所述吸水板（325）的正面设有吸水孔（321），吸水孔（321）为腰形孔，吸水板（325）的背面设有吸水槽（323），吸水槽（323）与吸水孔（321）相通；所述背板（324）安装在吸水板（325）的背面，背板（324）上装有吸水管（326），吸水管（326）与吸水槽（323）相通，吸水管（326）还与水泵的吸水口连接。

6.根据权利要求5所述的硅片分片及吸片送片装置，其特征在于，所述吸水板（325）的正面设有限位台（322），限位台（322）上设有吸水孔（321）；所述升片皮带（31）的背面设有限位槽（312），吸盘孔位于限位槽（312）内，且吸片孔（311）与限位槽（312）相通，限位槽（312）与限位台（322）相匹配，限位台（322）位于限位槽（312）内。

7.根据权利要求4所述的硅片分片及吸片送片装置，其特征在于，还包括清洗块（38），所述清洗块（38）上设有清洗孔（381），清洗孔（381）与吸片孔（311）相对，清洗块（38）位于升片主动轴（37）和升片从动轴（36）之间，清洗块（38）与水泵连接。

8.根据权利要求4所述的硅片分片及吸片送片装置，其特征在于，还包括挡片板，所述挡片板固定在升片皮带（31）两侧，且位于升片从动轴（36）的上方，挡片板的端面高出升片皮带（31）的正面，所述升片皮带（31）上的吸片孔（311）分组设置，吸片孔组不少于两组，相邻吸片孔组之间的距离不小于硅片（8）的长度，吸片孔组的吸片孔（311）不少于两个。