[实用新型]烘烤装置有效
申请号: | 201820576429.9 | 申请日: | 2018-04-20 |
公开(公告)号: | CN208028091U | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
发明(设计)人: | 陈亚文;史文;宋晶尧;付东 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 万志香 |
地址: | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却板 加热板 烘烤装置 升降机构 烘烤腔 冷却剂 自然冷却过程 本实用新型 内部设置 常规的 节约 制作 | ||
本实用新型涉及一种烘烤装置,包括箱体、加热板、冷却板以及升降机构,所述箱体中具有烘烤腔,所述加热板、所述冷却板以及所述升降机构设置在所述烘烤腔中,所述冷却板的内部设置有冷却剂,所述冷却板位于所述加热板的上方,所述升降机构控制所述加热板与所述冷却板相对运动从而使所述加热板与所述冷却板相互靠近或相互远离。上述的烘烤装置,相比常规的HPB装置的自然冷却过程,可大幅加快降温速度,从而缩短工艺时间、节约制作成本。
技术领域
本实用新型涉及显示器加工领域,特别是涉及一种烘烤装置。
背景技术
采用溶液加工方法制作OLED以及QLED显示器,由于其具有低成本、高产能、易于实现大尺寸等优点,是未来显示技术发展的重要方向。其中,印刷技术被认为是实现OLED以及QLED低成本和大面积全彩显示的最有效途径。
在印刷工艺中,对功能膜进行烘烤(bake)是一道必不可少的工艺,其通常采用HPB(hot plate bake)装置去除墨水干燥后残留的溶剂,使功能薄膜更加致密,以提高印刷工艺制备的器件的性能以及稳定性。然而,由于印刷工艺中通常需要制备三层以上的功能膜层,而每一层功能膜层的烘烤温度区别较大,因此通常需要采用多个HPB装置以提供多个分别对应不同的膜层的烘烤温度,但是这将增大设备成本;或者,也可以采用单个的HPB装置,但这种方式在进行温度切换时需要耗费大量的时间,尤其是在降温过程中,HPB装置的自然降温速度非常缓慢,需要耗费大量时间,导致生产效率低下。
实用新型内容
基于此,有必要提供一种烘烤装置,以解决现有的HPB装置降温速度缓慢的问题。
一种烘烤装置,包括箱体、加热板、冷却板以及升降机构,所述箱体中具有烘烤腔,所述加热板、所述冷却板以及所述升降机构设置在所述烘烤腔中,所述冷却板的内部设置有冷却剂,所述冷却板位于所述加热板的上方,所述升降机构控制所述加热板与所述冷却板相对运动从而使所述加热板与所述冷却板相互靠近或相互远离。
在其中一个实施例中,所述升降机构与所述冷却板连接以带动所述冷却板在所述烘烤腔中升降,当所述冷却板下降时,所述冷却板的下端面能够与所述加热板的上端面相接触。
在其中一个实施例中,所述升降机构为能够伸缩的挂杆,所述升降机构的上端设置在所述烘烤腔的上部,所述升降机构的下端与所述冷却板连接。
在其中一个实施例中,所述升降机构包括丝杆和与所述丝杆相配合的螺母,所述螺母设置在所述冷却板上。
在其中一个实施例中,所述加热板内部均匀分布有热阻丝。
在其中一个实施例中,所述烘烤腔的底部设置有支撑杆,所述加热板设置在所述支撑杆上。
在其中一个实施例中,所述箱体的箱壁内设置有循环冷却水系统。
在其中一个实施例中,所述烘烤装置还包括机械手,所述机械手用于将样品经由所述箱体的箱门送至所述加热板上以及将样品从所述加热板上取出。
在其中一个实施例中,所述烘烤装置还包括控制器与温度传感器,所述温度传感器用于检测所述加热板和/或所述冷却板的温度,所述控制器与所述加热板、所述冷却板、所述升降机构以及所述温度传感器电连接。
在其中一个实施例中,所述烘烤装置还包括警报器,所述警报器与所述控制器电连接。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:
上述的烘烤装置,在升温或恒温加热状态下,可以控制冷却板远离加热板,当需要对烘烤装置进行降温时,使升降机构控制加热板与冷却板相互靠近,冷却板工作,带走加热板的热量,从而加快加热板的降温速度;当冷却板完成冷却工作,使升降机构控制加热板与冷却板相互远离。该烘烤装置,相比常规的HPB装置的自然冷却过程,可大幅加快降温速度,从而缩短工艺时间、节约制作成本。
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