[实用新型]原子层沉积炉管设备

权利要求书

1.一种原子层沉积炉管设备，其特征在于，包括：

炉管外体，所述炉管外体一侧设有两个进气口，分别为第一进气口和第二进气口，用于通入不同特气，在所述第一进气口和所述第二进气口相对于所述炉管外体的另一侧面设置有排气口；

排气管组，设置在所述炉管外体相对于所述排气口的另一面，所述排气管组包含主排气管一、主排气管二、支排气管一、支排气管二、支排气管三和支排气管四；

真空泵一，所述支排气管一相对于所述主排气管一的另一端与所述真空泵一相连通，所述真空泵一另一端通过所述支排气管三与所述主排气管二连通；

真空泵二，所述支排气管二相对于所述主排气管一的另一端与所述真空泵二相连通，所述真空泵二另一端通过所述支排气管四与所述主排气管二连通。

2.根据权利要求1所述的原子层沉积炉管设备，其特征在于，所述支排气管一上设有支阀门一，用于开关由所述支排气管一至所述真空泵一的通道。

3.根据权利要求1所述的原子层沉积炉管设备，其特征在于，所述支排气管二(上设有支阀门二，用于开关由所述支排气管二至所述真空泵二的通道。

4.根据权利要求1、2或3所述的原子层沉积炉管设备，其特征在于，所述主排气管一上设有主阀门，用于开关由所述主排气管一至所述支排气管一及所述支排气管二的通道。