[实用新型]用于传感器装置的位移测量系统

权利要求书

1.一种用于传感器装置的位移测量系统，所述传感器装置包括第一位移传感器(10，12)，其特征在于，所述位移测量系统包括：

驱动信号生成电路(23)，用于向所述第一位移传感器(10，12)输出驱动信号；

第一信号处理电路(24，102)，用于接收来自所述第一位移传感器(10，12)的信号并且输出第一ADSO信号；以及

计算设备(40，60，90，110)，包括第一定时器(41，112)；

其中，所述第一定时器(41，112)用于接收CLK512信号和所述第一ADSO信号，并且根据所述CLK512信号和所述第一ADSO信号进行计时或计数；其中，所述CLK512信号是与所述驱动信号的周期和相位相关的方波信号。

2.根据权利要求1所述的位移测量系统，其特征在于，还包括：

时钟分频电路(22)，用于向所述驱动信号生成电路(23)输出时钟信号以及输出所述CLK512信号。

3.根据权利要求1或2所述的位移测量系统，其特征在于，所述计算设备(40，60，90，110)还包括：

处理器(43)，用于将所述第一定时器(41，112)通过计时或计数得到的数据转换为所述第一位移传感器(10，12)的栅极在一个栅距内的绝对位移值。

4.根据权利要求3所述的位移测量系统，其特征在于，还包括：

计数时钟(42)；

其中，所述第一定时器(41，112)用于以所述计数时钟(42)提供的时钟频率根据所述CLK512信号和所述第一ADSO信号进行计时或计数。

5.根据权利要求4所述的位移测量系统，其特征在于，所述第一定时器(41，112)用于在监测到所述CLK512信号的上升沿时以所述计数时钟(42)提供的时钟频率从零开始计时或计数，以及在监测到所述第一ADSO信号的上升沿时将当前时间或当前计数发送至所述处理器(43)。

6.根据权利要求4所述的位移测量系统，其特征在于，所述第一定时器(41，112)还包括：

第一缓冲器；

其中，所述第一定时器(41，112)用于在监测到所述CLK512信号的上升沿时以所述计数时钟(42)提供的时钟频率从零开始计时或计数，以及在监测到所述第一ADSO信号的上升沿时将当前时间或当前计数写入所述第一缓冲器；

所述处理器(43)用于在接收到由所述第一ADSO信号或所述CLK512信号触发的中断标记信号之后，读取所述第一缓冲器中的数据。

7.根据权利要求4所述的位移测量系统，其特征在于，所述处理器(43)用于根据所述第一定时器(41，112)通过计时得到的数据以及所述计数时钟(42)提供的时钟频率得出所述第一位移传感器(10，12)的栅极在一个栅距内的位置当量，并且将所述第一位移传感器(10，12)的栅极在一个栅距内的位置当量转换为所述第一位移传感器(10，12)的栅极在一个栅距内的绝对位移值。

8.根据权利要求7所述的位移测量系统，其特征在于，所述处理器(43)还用于对所述第一位移传感器(10，12)的栅极在一个栅距内的位置当量进行数字化滤波处理，以及对所述第一位移传感器(10，12)的栅极在一个栅距内的绝对位移值进行偏差修正。

9.根据权利要求4所述的位移测量系统，其特征在于，所述计数时钟(42)包含在所述计算设备(40，60，90，110)中。