[实用新型]一种可测量硅芯直径的硅芯炉

说明书

本实用新型涉及多晶硅生产领域，公开了一种可测量硅芯直径的硅芯炉。硅芯炉包括形成空腔的炉体、直径测量系统以及显示装置。炉体具有形成空腔的炉壁，炉壁上设置有透明的观察窗。直径测量系统包括设置于观察窗外的光电测距仪以及控制器，光电测距仪用于检测硅芯外表面与自身的距离；控制器与光电测距仪通过导线与光电测距仪电连接。控制器能够将从光电测距仪接收到的信号换算成硅芯直径，在显示装置上显示出来。此硅芯炉可以实时监测硅芯的直径，并通过显示装置显示出来，人工可直接读取显示数据，不用经常观察，保护眼睛健康。由于能够准确掌握硅芯的直径尺寸，提高硅芯合格率，因此也减少了人工、物料的浪费。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产领域，具体而言，涉及一种可测量硅芯直径的硅芯炉。

背景技术

随着世界能源危机的日益严重，绿色能源、能源多元化、可再生能源的利用成了我国可持续发展的战略选择，其中太阳能光伏发电成了当前电力科技者研发的热门课题之一。多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料，多晶硅纯度越高，电子性能越好，相应光电转换率提高。西门子法多晶硅生长必须依靠硅芯作为生长的载体，在硅芯表面进行化学气相沉积生长多晶硅棒。

传统的硅芯拉制都是依靠人工观察来掌握硅芯生长的直径，通过肉眼观察随时调整硅芯的拉速、硅芯母料的跟随比掌握硅芯直径，但由于人工观察存在误差，拉制出的硅芯存在直径细或直径粗等现象，造成硅芯直径不合格无法使用而成废品、相应消耗的氩气、人工、电等造成综合成本浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可测量硅芯直径的硅芯炉，以解决在硅芯拉制过程中人工观察硅芯直径导致观测误差较大、浪费人力的问题，一方面也提高了产品的合格率。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种可测量硅芯直径的硅芯炉，其包括：

形成空腔的炉体，炉体具有形成空腔的炉壁，炉壁上设有透明的观察窗；

固定设置于炉体内的线圈，线圈上设置有供硅芯通过的通孔，线圈通过在通电的情况下能够产生高频感应电流给母料提供熔化的热量；线圈下方设置有用于承托母料的安装座，安装座与升降机构传动连接；

设置于线圈上方的牵引装置，用于向上拉动硅芯；

直径测量系统，直径测量系统包括设置于观察窗外的光电测距仪以及控制器，光电测距仪用于检测安装于安装座上的硅芯外表面与自身的距离；控制器与光电测距仪通过导线与光电测距仪电连接；

显示装置，显示装置与控制器电连接。

在本实用新型的一种实施例中：

直径测量系统包括至少一个光电测距组合，每个光电测距组合均包含至少一个光电测距仪，属于同一个光电测距组合的各光电测距仪均用于检测同一个安装座上的硅芯；各光电测距组合各自检测不同的安装座上的硅芯。

在本实用新型的一种实施例中：

光电测距组合中至少包含两个在水平方向上间隔设置的光电测距仪。

在本实用新型的一种实施例中：

光电测距组合中至少包含两个在竖直方向上间隔设置的光电测距仪。

在本实用新型的一种实施例中：

观察窗包括前观察窗和后观察窗，前观察窗和后观察窗分别设置于炉体相对的两侧。

在本实用新型的一种实施例中：

前观察窗和后观察窗均为耐高温玻璃制成,观察窗中间有水夹套进行冷却。

在本实用新型的一种实施例中：