[实用新型]一种多晶硅铸锭炉坩埚有效
申请号: | 201820584893.2 | 申请日: | 2018-04-24 |
公开(公告)号: | CN208250457U | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 赵永雷;周磊;郭建军 | 申请(专利权)人: | 湖南金石新材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 长沙科永臻知识产权代理事务所(普通合伙) 43227 | 代理人: | 杨琦玲 |
地址: | 412500 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 坩埚 多晶硅铸锭炉 凸台 榫槽 组装 插接板 座台 底座 本实用新型 底座上表面 竖直侧面 整体坩埚 插接孔 插接柱 设置座 圆柱状 侧边 插接 对合 面形 拼合 贴合 榫卯 拼接 一体化 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉坩埚,包括三个结构相同的埚瓣(1)和座台(2),其特征在于:所述座台(2)由底座(4)和凸台(5)一体化组成,所述凸台(5)位于底座(4)上表面中心位置且呈圆柱状,三个所述埚瓣(1)拼合围在凸台(5)的外表面形成一个整体坩埚,所述埚瓣(1)的两个竖直侧面均设置有规格相同的榫槽(9),相邻来那个埚瓣(1)贴合的侧边榫槽(9)内部插接有插接板(3)。
2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉坩埚,其特征在于,所述底座(4)的上表面为内凹的球面结构,且与拼合后的坩埚底面吻合。
3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉坩埚,其特征在于,所述埚瓣(1)的底面开设有插接孔(6),所述底座(4)的上表面一体化固定有与插接孔(6)对应的插接柱(7)。
4.如权利要求3所述的多晶硅铸锭炉坩埚,其特征在于,所述底座(4)的底面设置有内凹槽(8)。
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