[实用新型]一种衍射元件及高分辨率光谱仪有效

专利信息
申请号: 201820589258.3 申请日: 2018-04-24
公开(公告)号: CN208780341U 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: 蔡志坚;吴利;苏衍峰;吴建宏 申请(专利权)人: 苏州大学
主分类号: G01J3/28 分类号: G01J3/28;G01J3/04
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 杨慧林
地址: 215104 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 衍射元件 光谱仪 散斑图案 测光 高分辨率光谱仪 衍射光栅单元 本实用新型 刻痕 光谱分析系统 光谱检测设备 图像传感器 高分辨率 光谱检测 光谱数据 零级衍射 密度分布 倾斜方向 一级衍射 准直透镜 标准库 无规则 散射 波长 比对 可控 入射 光源 平行 记录 应用 生产
【权利要求书】:

1.一种衍射元件,包括基板以及刻于所述基板上的多个衍射光栅单元,其特征在于:单块衍射光栅单元内刻痕密度分布相同且刻痕倾斜方向相同,而任意两块衍射光栅单元的刻痕密度分布不同和/或刻痕倾斜方向不同。

2.一种高分辨率光谱仪,包括如权利要求1所述的衍射元件,其特征在于,还包括:

入射单元,所述入射单元包括待测光源发出的待测光和准直透镜;

所述待测光在所述衍射元件中发生无规则散射,出射后在所述衍射元件一侧形成散斑图案;以及,

用于记录所述散斑图案的图像传感器;以及,

用于将得到的所述散斑图案与波长-散斑图案标准库比对的光谱分析系统,其中,所述波长-散斑图案标准库中存有不同波长的单色光与对应的衍射散斑图案的映射关系数据。

3.根据权利要求2所述的高分辨率光谱仪,其特征在于:所述图像传感器记录至少零级衍射处的散斑图案和一级衍射处的散斑图案。

4.根据权利要求2所述的高分辨率光谱仪,其特征在于:所述光谱分析系统包括,

信号采集单元,所述信号采集单元与所述图像传感器耦接,用于接收所述图像传感器输出的所述散斑图案数据;以及,

与所述信号采集单元耦接的信号处理单元,所述信号处理单元用于从所述信号采集单元获取所述散斑图案数据并将所述散斑图案数据与所述波长-散斑图案标准库进行分析比对;以及,

用于存储所述波长-散斑图案标准库的缓存单元,所述缓存单元具有等于或超过所述波长-散斑图案标准库大小的存储空间;以及,

用于输出所述待测光光谱分析结果的输出单元。

5.根据权利要求2所述的高分辨率光谱仪,其特征在于:所述待测光源位于所述准直透镜的焦点位置处。

6.根据权利要求2所述的高分辨率光谱仪,其特征在于:所述图像传感器为CCD感光元件或CMOS感光元件。

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