[实用新型]一种原子力显微镜超短距离激光检测装置

权利要求书

1.一种原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，包括：

光学物镜组件(1)；以及

设于光学物镜组件(1)正下方的激光检测头(2)，该激光检测头(2)包括：内部中空的壳体(21)；及设于壳体(21)内部的激光器组件(22)、探针架组件(23)、及位置探测器组件(24)，

其中，光学物镜组件(1)包括物镜转盘(11)以及布置于物镜转盘(11)周向上的多个不同放大倍数的物镜，所述物镜的放大倍数为4～100倍。

2.如权利要求1所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，所述物镜设有五个，分别为第一物镜(12)、第二物镜(13)、第三物镜(14)、第四物镜及第五物镜，其中，第一物镜(12)、第二物镜(13)、第三物镜(14)、第四物镜及第五物镜的放大倍数分别为4倍、10倍、20倍、50倍、及100倍。

3.如权利要求1所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，壳体(21)包括设于壳体(21)左部的第一腔体(211)、设于壳体(21)中间的第二腔体(212)及设于壳体右部的第三腔体(213)，壳体(21)的最上部设有盖板(29)。

4.如权利要求1所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，激光器组件(22)设于第一腔体(211)内，激光器组件(22)包括：

激光器(221)

内部中空的激光器X滑块(222)；以及

内部中空的激光器Y滑块(223)；

其中，激光器(221)从激光器X滑块(222)和激光器Y滑块(223)正中间穿过，并固定于激光器X滑块上(222)，

激光器X滑块(222)和激光器Y滑块(223)的调节螺杆穿过第一腔体(211)，并通过所述调节螺杆与所述第一腔体(211)相连。

5.如权利要求1所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，探针架组件(23)设于第二腔体(212)内，探针架组件(23)两侧有45°的燕尾槽，其通过所述燕尾槽与第二腔体(212)相连。

6.如权利要求5所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，探针架组件(23)包括：

探针定位块(231)，其固定于探针架组件(23)上；

探针(232)，其固定于探针定位块(231)的前端；

弹簧片(233)，其固定于探针架组件(23)上并利用弹簧的弹性将探针(232)夹住；及

半透半反镜(234)，其设于探针架组件(23)正中并位于探针(232)的正上方，以与探针架组件(23)夹角为45°固定于探针架组件(23)上。

7.如权利要求1所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，位置探测器组件(24)设于第三腔体(213)内，位置探测器组件(24)包括：

位置探测器(241)

内部中空的位置探测器X滑块(242)；以及

内部中空的位置探测器Y滑块(243)；

其中，位置探测器(241)从位置探测器X滑块(242)和位置探测器Y滑块(243)正中间穿过，并固定于位置探测器X滑块上(242)，

位置探测器X滑块(242)和位置探测器Y滑块(243)的调节螺杆穿过第三腔体(213)，并通过所述调节螺杆与第三腔体(213)相连。

8.如权利要求3所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，第一腔体(211)内部设有一个与盖板(29)夹角为45°梁结构，所述梁结构上固定有左反光镜(25)。

9.如权利要求3所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，第三腔体(213)设有一个与盖板(29)夹角为45°梁结构，所述梁结构上固定有右反光镜(26)。

10.如权利要求3所述的原子力显微镜超短距离激光检测装置，其特征在于，第二腔体(212)内部设有一圆孔，角度调节杆(27)通过所述圆孔与第二腔体(212)相连，角度调节杆(27)的末端固定有一反光镜(28)。