[实用新型]掩膜板有效
申请号: | 201820594064.2 | 申请日: | 2018-04-24 |
公开(公告)号: | CN208604190U | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 王梦凡;王国兵;康梦华;叶訢;苏倩;李金库 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀 掩膜板 两组 凹陷部 中心线两侧 中心线轴 张网 对称 褶皱 显示屏像素 中心线垂直 轴对称设置 受力均匀 显示效果 开口区 异形区 掩膜 显示屏 遮挡 配合 | ||
本实用新型涉及一种掩膜板,包括掩膜板主体,掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线,第一中心线与第二中心线垂直;开设于掩膜板主体上的两组蒸镀区,每组蒸镀区包括至少一个蒸镀区,每个蒸镀区开设有凹陷部,每相邻两个蒸镀区之间具有间距,两组蒸镀区关于第一中心线轴对称,且两组蒸镀区关于第二中心线轴对称。两组蒸镀区关于第一中心线与第二中心线均轴对称设置,则位于第一中心线与第二中心线两侧的凹陷部数量相同,则此时掩膜板主体在张网时第一中心线与第二中心线两侧受力均匀,降低了与凹陷部配合的遮挡部位置的褶皱,张网精度提高,从而也使得后续显示屏像素蒸镀位置精度较高,且也提高了后续显示屏的开口区(即异形区)的显示效果。
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域,特别是涉及一种掩膜板。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)又称为有机电激光显示或有机发光半导体。OLED具有驱动电压低、主动发光、视角宽、效率高、响应速度快、易实现全彩色大面积壁挂式显示和柔性显示的许多特点而逐渐取代液晶显示器(Liquid CrystalDisplay,LCD)显示。
在OLED制造技术中,真空蒸镀用的掩膜板是至关重要的部件,掩膜板可以控制有机材料沉积在基板上的位置。掩膜板主要包括通用金属掩膜板(Common Metal Mask,CMM)及精密金属掩膜板(Fine Metal Mask,FMM),CMM用于蒸镀共通层,FMM用于蒸镀发光层。
发明人发现,采用现有技术中的掩膜板张网时出现褶皱,导致后续显示屏像素蒸镀位置精度降低。
实用新型内容
基于此,本实用新型提供了一种掩膜板,解决了掩膜板张网时出现褶皱的问题,提高了后续显示屏像素蒸镀位置的精度。
为实现以上目的,本实用新型提供了一种掩膜板。
所述掩膜板包括:
掩膜板主体,所述掩膜板主体具有第一中心线与第二中心线,所述第一中心线与所述第二中心线垂直;
开设于所述掩膜板主体上的两组蒸镀区,每组所述蒸镀区包括至少一个所述蒸镀区,每个所述蒸镀区开设有凹陷部,每相邻两个所述蒸镀区之间具有间距,两组所述蒸镀区关于所述第一中心线轴对称,且两组所述蒸镀区关于所述第二中心线轴对称。
如此,两组蒸镀区关于第一中心线与第二中心线均轴对称设置,则位于第一中心线与第二中心线两侧的凹陷部数量相同,并且,朝向不同方向的凹陷部的数量及排布方式也相互对应互补,则此时掩膜板主体在张网时第一中心线与第二中心线两侧受力均匀,降低了与凹陷部配合的遮挡部位置的褶皱,张网精度提高,从而也使得后续显示屏像素蒸镀位置精度较高,且也提高了后续显示屏的开口区(即异形区)的显示效果。
在其中一个实施例中,所述蒸镀区沿第一方向具有相对的第一端与第二端,所述第一端开设有所述凹陷部,或所述第二端开设有所述凹陷部,所述第一方向与所述第一中心线平行。
在其中一个实施例中,所述掩膜板主体上沿第二方向开设有一排所述蒸镀区,所述第二方向与所述第二中心线平行。
在其中一个实施例中,所述掩膜板主体上沿所述第二方向开设有至少两排所述蒸镀区,且所述蒸镀区沿所述第一方向的数量为偶数个,所述第二方向与所述第二中心线平行。
在其中一个实施例中,位于所述第二中心线同侧的所述蒸镀区的所述凹陷部均背向或均面向所述第二中心线凹陷。
在其中一个实施例中,每组所述蒸镀区划分为至少一个子组,每相邻两个所述蒸镀区为一个所述子组,位于所述第二中心线同侧的每个所述子组里的所述蒸镀区的所述凹陷部相对。
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