[实用新型]一种单硅片流水线式RENA制绒设备

说明书

本实用新型公开了一种单硅片流水线式RENA制绒设备，包括工作台、传送带以及流水制绒槽，所述工作台一侧开设有安装槽，所述传送带设置于安装槽中，所述传送带上活动连接有若干流水制绒槽；所述出液孔远离流水制绒槽一端连接有补液槽；所述流水制绒槽内腔中从上到下依次设置有活动板和固定板，所述活动板与流水制绒槽侧壁活动连接，所述固定板与流水制绒槽侧壁固定连接。本实用新型通过流水线式的制绒方式，每个流水制绒槽只针对一个硅片进行制绒，可避免由于制绒槽过大造成的制绒液浓度分布不均造成的制绒机各道之间的减重差异，还大大提高了制绒效率，而且取消了多根均流管的设置，十分方便，非常值得推广。

技术领域

本实用新型涉及硅片制绒技术领域，具体为一种单硅片流水线式RENA制绒设备。

背景技术

硅片在切割过程中会在表面形成大约10μm厚的损伤层，这一层与硅片基体的性质不同，会严重影响太阳能电池的性能。清洗工序制绒工艺就是利用硅片的这一层损伤层，通过硝酸对其氧化制绒，形成高低不平的表面，大大增加电池片表面的受光面积，减少反射，从而提高太阳能电池的转换效率。在多晶制绒时，需要控制硅片的减薄量，尤其是需要控制硅片整面膜的减薄均匀性。

目前RENA制绒机台存在设计上的缺陷，制绒槽的进液方式存在缺陷，进液集中在整个槽体的一端，导致制绒机台道与道之间腐蚀程度存在差异，最终导致每道之间减重差异较大，且液体循环均匀性较差，得到的绒面均匀性、稳定性差，进而导致镀膜岗位的返工片和色差片等不良片的比率大大增加。

为了解决上述缺陷，现有技术中申请号为“201420221775.7”的一种改进的多晶制绒RENA机，可提高单道间单片的绒面的稳定性，降低制绒机各道之间的减重差异和破片率，提高多晶硅片的腐蚀均匀性，降低镀膜岗位返工片的比率,提高电池片的外观质量。

但是对于上述的一种改进的多晶制绒RENA机，虽然可以改善制绒效果，提高绒面的稳定性，但是其为了降低制绒机各道之间的减重差异和破片率，增加了多根均流管，而且还需要控制流速和压强，非常麻烦和复杂，并且无法达到每道之间的腐蚀程度更小差异化，制绒机每道之间的制绒液浓度无法很好的进行精确的控制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单硅片流水线式RENA制绒设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单硅片流水线式RENA制绒设备，包括工作台、传送带以及流水制绒槽，所述工作台一侧开设有安装槽，所述传送带设置于安装槽中，所述传送带上活动连接有若干流水制绒槽；

所述工作台上开设有出液孔，所述出液孔远离流水制绒槽一端连接有补液槽；

所述流水制绒槽内腔中从上到下依次设置有活动板和固定板，所述活动板与流水制绒槽侧壁活动连接，所述固定板与流水制绒槽侧壁固定连接；

所述活动板中开设有进水孔，所述进水孔靠近固定板一侧固定有出水管，所述出水管侧壁开设有侧孔，所述出水管活动插设于管槽中，所述管槽开设于固定板中，所述固定板远离活动板一侧开设有制绒孔，所述制绒孔与管槽通过连孔相连通，所述活动板与固定板通过弹簧相连接。

优选的，所述传送带上固定有连接块，所述连接块侧壁开设有插槽，所述插槽内活动插设有插杆，所述插杆固定连接有连杆，所述连杆固定于固定杆上，所述固定杆固定连接于流水制绒槽。

优选的，所述流水制绒槽侧壁开设有取片门。

优选的，所述流水制绒槽内腔底壁设置有若干凸块底。

优选的，所述流水制绒槽远离工作台一侧设置有回收槽。

优选的，所述回收槽通过液体泵连接于补液槽上。