[实用新型]一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置

权利要求书

1.一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，包括:本体、连接部和引流部；

所述本体为圆柱管状；

所述本体的侧壁上设置有排气通孔；

所述连接部固定地设置在所述本体的一端，用于与单晶硅炉的排气口连接；

所述引流部固定地设置在所述本体的另一端，用于阻挡所述排气口喷出的气流，将气流进行引导，以通过所述排气通孔排出。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述排气通孔为槽孔；

所述槽孔为多个；多个所述槽孔沿所述本体的圆周方向分布。

3.根据权利要求1所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述本体、连接部和引流部为一体设置；

所述本体、连接部和引流部均为石墨材质。

4.根据权利要求1所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述排气通孔为圆孔。

5.根据权利要求4所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述圆孔为多个；多个所述圆孔沿所述本体的圆周方向间隔设置。

6.根据权利要求1所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述引流部上设置有球面的凹部；所述凹部上设置有向外延伸的导流凹槽；所述导流凹槽沿圆周方向间隔地分布在所述凹部上，用于引导气流。

7.根据权利要求6所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述导流凹槽上设置有多个微型阶梯，用于吸附尘杂。

8.根据权利要求1所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述本体的侧壁内侧上设置有凸起部；所述凸起部具有棱角，用于吸附尘杂。

9.根据权利要求5所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述排气通孔上固定地设置有排气管；

所述排气管与所述本体垂直。

10.根据权利要求9所述的直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置，其特征在于，

所述排气管的一端延伸至所述本体的内部，另一端沿所述本体的径向延伸。