[实用新型]一种氧化锌薄膜晶体管

权利要求书

1.一种氧化锌薄膜晶体管，为多层薄膜复合结构，其特征在于：由下至上依次包括衬底层、栅极、绝缘栅介质层、氧化锌有源层、隔绝层；所述栅极内嵌于绝缘栅介质层内；所述隔绝层的下端内嵌于氧化锌有源层，则氧化锌有源层的中部厚度比两侧的厚度薄，从而形成三个区域，分别是位于氧化锌有源层两侧的源极区和漏极区，及位于源极区和漏极区中间的沟道区，所述隔绝层位于沟道区上；所述源极区的上表面连接有源极金属电极，所述漏极区上表面连接有漏极金属电极，所述源极区与源极金属电极之间和漏极区与漏极金属电极之间均设有掺杂层。

2.根据权利要求1所述的氧化锌薄膜晶体管，其特征在于：所述绝缘栅介质层为双层结构，包括下层的氧化硅绝缘栅介质层和上层的氮化硅绝缘栅介质层，所述栅极内嵌于氧化硅绝缘栅介质层内，所述氮化硅绝缘栅介质设于氧化锌有源层的底部。

3.根据权利要求1或2所述的氧化锌薄膜晶体管，其特征在于：所述掺杂层为源极金属电极和漏极金属电极的下表面使用离子轰击方法获得。

4.根据权利要求3所述的氧化锌薄膜晶体管，其特征在于：所述源极金属电极和漏极金属电极为AL、Cu或二者合金的金属电极。

5.根据权利要求4所述的氧化锌薄膜晶体管，其特征在于：所述绝缘栅介质层的材质为氮化硅、氧化铪、氧化铝、氧化钽其中的一种。

6.根据权利要求5所述的氧化锌薄膜晶体管，其特征在于：所述绝缘栅介质的厚度为10-300纳米。

7.根据权利要求6所述的氧化锌薄膜晶体管，其特征在于：所述衬底层的材质为玻璃、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯(PE)和聚酰亚胺(PI)基板的一种。