[实用新型]一种掩膜边框有效
申请号: | 201820605290.6 | 申请日: | 2018-04-25 |
公开(公告)号: | CN208604191U | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 陈涛;赵树利;叶亚宽;杨立红 | 申请(专利权)人: | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L31/18 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李海建 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 遮盖板 清边 掩膜 边框本体 薄膜太阳能电池 边框 刮刀装置 本实用新型 维修和更换 工序工艺 机械刮刀 生产效率 预先形成 遮挡位置 短边 刮刀 薄膜 加工 电池 改进 | ||
本实用新型公开了一种掩膜边框,包括掩膜边框本体、第一遮盖板和第二遮盖板。本方案对掩膜边框本体进行改进,在掩膜边框本体上设置第一遮盖板和第二遮盖板,在前道PVD镀TCO膜层的工序中,在第一遮盖板和第二遮盖板的遮挡位置不形成TCO膜层。本方案通过第一遮盖板和第二遮盖板在清边工序前预先形成了现有技术中清边工序通过刮刀形成的凹槽,在清边工序中不需要再对薄膜进行刮划,节省了一部分加工时间,而且也不需要再设置刮刀装置,在薄膜太阳能电池的加工过程中也就不需要再对刮刀装置进行维修和更换,进一步缩短了加工时间,有效提高了薄膜太阳能电池的生产效率,由于减少清边设备短边清边结构中的机械刮刀结构,提高了电池清边工序工艺稳定性。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,特别涉及一种掩膜边框。
背景技术
目前薄膜太阳能电池发展方兴未艾,薄膜太阳能电池制作的最后一道工艺是对基板进行气密性封装。为了防止电池短路和更好的气密性封装,电池周边10mm到15mm区域的薄膜(正负电极薄膜和有源层薄膜)需要清理掉,业内称之为清边或者扫边。
现有技术中激光清边采用高能量的激光束,激光束将基板的薄膜全部融化并气化从而实现清理,而为了避免在清边时产生前电极与背电极的搭接,以及子电池之间的搭接,需要预先利用刮刀刮除部分TCO层。由于激光清边工序增加了刮刀,而刮刀寿命有限,且需要定期维护和更换,使得后续维护间隔变短,影响薄膜太阳能电池的生产效率;同时,由于增加了机械刮刀结构,设备结构复杂,而且刮刀可能会损伤底部Mo电极,以及CIGS等膜层残留,影响电池性能。
因此,如何提高薄膜太阳能电池板的生产效率,提高清边工艺稳定性,成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型提供了一种掩膜边框,以提高薄膜太阳能电池板的生产效率,提高清边工艺稳定性。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种掩膜边框,包括:
掩膜边框本体,所述掩膜边框本体内设置有玻璃基板;
安装于所述掩膜边框本体的与所述基板的一个宽边位置对应的第一遮盖板,所述第一遮盖板的长度至少等于所述掩膜边框本体的内边缘的宽度,所述第一遮盖板的外沿与所述基板的边缘之间的宽度为清边宽度;
安装于所述掩膜边框本体的与所述基板的另一个宽边位置对应的第二遮盖板,所述第二遮盖板的长度至少等于所述掩膜边框本体的内边缘的宽度,所述第二遮盖板的外沿与所述基板的边缘之间的宽度为所述清边宽度。
优选的,在上述掩膜边框中,所述第一遮盖板为钛合金遮盖板,所述第二遮盖板为钛合金遮盖板。
优选的,在上述掩膜边框中,所述第一遮盖板为不锈钢遮盖板,所述第二遮盖板为不锈钢遮盖板。
优选的,在上述掩膜边框中,所述第一遮盖板为聚酰亚胺胶带,所述第二遮盖板为聚酰亚胺胶带。
优选的,在上述掩膜边框中,所述第一遮盖板的宽度为0.5-1mm,所述第二遮盖板的宽度为0.5-1mm。
优选的,在上述掩膜边框中,所述掩膜边框本体为钛合金掩膜边框本体。
优选的,在上述掩膜边框中,所述掩膜边框本体为不锈钢掩膜边框本体。
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